二酸化ケイ素(SiO₂ )で構成される粒子。

　半導体材料、各種添加剤、ガラスの原料などとして工業的に多く用いられている。液相法によって製造された単分散シリカ粒子はコロイダルシリカと呼ばれ、工業規模で生産されている。これらをエアロゾル化するには、噴霧乾燥法などが用いられ、様々なエアロゾル試験用の標準粒子として利用される。また気相法（乾式法）で生成されるシリカはヒュームドシリカと呼ばれ、湿式法と同様、工業規模でのナノ粒子生産が行われている。

（金沢大学・瀬戸章文） 2022年5月14日更新　　★