パーティクルカウンターとも呼ばれる。粒子に光やレーザを照射し、粒子からの散乱光強度を測定する。散乱光強度と粒径はある一定の関係性があることから、粒子の大きさが判別できる。併せて、粒子一つ一つからの散乱光パルスを計数し、個数濃度を求める。

この方式は光散乱法と呼ばれ、この方式で得られた粒径は光散乱径又は光散乱相当径と呼ばれる。通常、パーティクルカウンターの粒径は、標準粒子としてポリスチレンラテックス（PSL）を用いて校正される。パーティクルカウンターは測定のレスポンス時間が早いが、対象粒子の屈折率が散乱光強度の影響する。このため、校正に用いたPSLと異なる光学特性を持つ粒子の場合には得られた粒径分布に注意が必要である。パーティクルカウンターで計測できる粒径は上級機種でも0.1μm程度で、これより小さい粒子は散乱光強度が弱いため原理上、計測が難しい。パーティクルカウンターについてはISOなどで規格化されている（例:ISO21501-4）。クリーンルームモニタリングや大気計測などで応用されている。

参考文献

日本エアロゾル学会（編）、エアロゾル用語集、 個数濃度測定、76、京都大学学術出版会、2004.

TSI社(USA), TSI Application Note ITI-095 Choosing an Optical Particle Counter, 2013.

(東京ダイレック株式会社・濱　尚矢、岩佐　高宏)　　2022年3月31日　　★