クリーンルームにおいて，空気の清浄の度合いについて表す指標を清浄度クラスと呼ぶ。浮遊微粒子に関する空気清浄度は，日本工業規格(JIS B 9920)で規定されており，各清浄度クラスをある粒径以上の粒子個数濃度で表している。これは，1 m³ の空気中に含まれる粒径0.1 μm以上の微粒子を，10のべき乗で示したときのべき指数をクラス数として表しており，粒径毎に微粒子数が規定され，クラス１〜８と表記される。クリーンルームの性能及び製品製造に関して要求する清浄度を各種産業において必要な空気清浄度については，ある程度決まっているが，用途によってはさらに厳しい清浄度を要求するだけではなく，ガス状物質や表面汚染についても清浄度クラスが規定されている。

（東京工業大学・鍵　直樹） 2016年5月13日作成、2022年5月4日更新