エアロゾルを輸送する気体（キャリアガス）の流れを計測する際に使用する計器。　

質量流量は単位時間に側面を通過する流体の質量を計測し、流量として表したものであり、温度・圧力は流量計メーカなどが選択した標準圧力、標準温度を利用する。これにより質量流量は標準流量とも呼ぶことがある。

体積質量も同様に側面を通過する流体の体積を計測し、流量として表したものであるが、流量計測時の温度圧力が加味される。以下に体積流量と標準流量の関係を示す。

ここで、Q_V= 体積流量、Q＝標準流量、T_m=フローチューブ内の気体の絶対温度、P_m＝フローチューブ内の絶対圧力。

質量流量計では熱線式やキャピラリ式、フローセンサ式がある。体積流量計では石鹸膜式やピストン式がある。

参考文献

TSI社(USA), Standard flow rate vs Volumetric flow rate, 2001.

(東京ダイレック株式会社・濱　尚矢)　　2016年3月31日　　★