1994年中研院天文所與新竹清華大學齊正中教授及吳茂昆教授合作，在清華大學材料科學中心創建超 導元件實驗室(Superconducting Device Laboratory, SDL)。實驗室成立的先期目標為建立國內低溫超導元 件製作的能力，製作的主要元件為次毫米波混頻元件，提供中研院天文所次毫米波陣列(SMA)天文望遠鏡計畫中 接收機所需的混頻元件。實驗室的整體目標為建立完整的超導元件製程，除了實驗室本身有興趣的超 導元件之研究外，可以提供國內其他研究單位所需要的超導元件。 實驗室的成立之初，缺乏經費與人員，經過幾年的累積，於2000年才將整個製程的設備完成整備。在天文所新大樓內之無塵室完工運轉後，於2014年初，結束在清華大學內無塵室之運作，其人員與設備已搬遷至台北。
超導元件實驗室主持人為王明杰博士，實驗室有元件設計(Device design)、元件製作(Device fabrication)、元件測試與系統(Device Testing and System)等三個發展領域。元件設計方面，實驗室備有高頻電磁波模擬軟體及高性能電腦可模擬元件性能。