Abstract

Fascicul ionic focalizat a devenit un instrument din ce în ce mai popular pentru fabricarea diferitelor tipuri de micro/nanostructuri și dispozitive pentru diferite aplicații. În acest capitol sunt prezentate în detaliu evoluțiile recente ale tehnologiilor FIB în producția micro/nano. Tehnologiile FIB implică în principal patru abordări principale: imagistică, frezare, depunere indusă de ioni și implantare. Principiul de lucru și tehnicile cheie care stau la baza celor patru abordări sunt introduse cu accent pe abilitățile lor în micro/nanofabricații. Sunt prezentate, de asemenea, domeniile de aplicare care implică utilizarea tehnologiilor de micro/nanofabricare FIB, cum ar fi micro elemente optice, lentile plasmonice, etc. Observațiile finale și perspectivele cercetării viitoare asupra tehnologiilor FIB în micro/nano fabricație sunt prezentate la sfârșitul capitolului.