VI Nanofabricarea prin utilizarea tehnologiei fasciculului de ioni
VI Nanofabricarea prin utilizarea tehnologiei fasciculului de ioni
Zong Wei Xu și Fengzhou Fang
33 Introducere în nanofabricarea ce utilizează tehnologia fasciculului de ioni
34 Noutăți din nanofabricarea ce utilizează tehnologia fasciculului de ioni
35 Instrumente cu fascicul de ioni utilizate pentru nanofabricare
36 Tehnologia de figurare a fasciculului de ioni
37 Tehnologia de nanofabricare cu fascicul de ioni focalizat
38 Tăierea nanometrică a suprafețelor de cristal modificate prin implantarea ionică
39 Fabricarea de microunelte prin tehnologia fascicului de ioni focalizat
40 Electrozi nano-gap dezvoltați folosind tehnologia fasciculului de ioni focalizat
41 Nanofabricarea pe bază de plasmă sub presiune atmosferică