Abstract

Fabricarea cu fascicule de ioni se dezvoltă spre nanoacuratețe și nano-scală. În acest sens, în acest capitol sunt prezentate conceptul și principiul de funcționare al fabricării cu fascicul de ioni cu nanoacuratețe și la scară nanometrică. Tehnicile cheie pentru fabricarea cu fascicul de ioni sunt discutate cu accent pe capacitățile lor în fabricarea de micro-/nano-caracteristici. Sunt furnizate aplicațiile tipice corespunzătoare implicate în fabricarea cu fascicul de ioni. Sunt prezentate, de asemenea, evoluțiile recente în instrumentele legate de fascicul cu ioni. În cele din urmă, sunt prezise tendințele viitoare pentru producția cu fascicule de ioni.