TECHNICAL REPORTS

Technique Reports

[9] 吳松岳，徐文祥，2013，從微機電系統到跨領域研究，電子月刊，1月號，58-71。

[8] 許鎮鵬，徐文祥，2001，微機電製程中的犧牲層技術之發展現況，半導體科技雜誌，十月號。

[7] 李政璋，徐文祥，2001，微型熱致動器與致動機構簡介，機構與機器原理學會會刊，第十二卷，第1期，8-18.

[6] 吳青台，徐文祥，2001，微接頭機構簡介，機構與機器原理學會會刊，第十二卷，第1期，1-7.

[5] 黃瑞星，方維倫，黃宇中，徐文祥，周正三，1999，國科會中區微機電系統研究中心簡介，科學發展月刊，第二十八卷，第十二期，933-939。

[4] 李政璋，徐文祥，林盈熙，1998，具感測器與致動器的掃描探針之設計與製作，機械工業雜誌, 185期, 110-117。

[3] 潘吉祥，徐文祥，1998，水平式微熱致動器，電子月刊，12月號，41期，46-53.

[2] 林育生, 周敏傑, 陳世洲, 徐文祥, 1997, 積體電路技術在矽基微機械加工之應用（三）-以兩個微致動器製程為例, 機械工業雜誌, 173期, 167-175。

[1] 林盈熙, 鄭博倫, 徐文祥, 1997, 具應變計之原子力顯微鏡探針, 機械工業雜誌, 173期, 167-175。