1996YSL

林育生 (Yuh-Sheng Lin)

Thermally Actuated Bimorph Microactuators

熱動式雙層板微小致動器

微小機電系統是近來頗熱門的領域之一，本篇研究之目的在於利用半導體製程技術研製出熱動式雙層板微小致動器，此致動器可設計成微小震動達與流量控制器，若鍍上一層鋁在此致動器上，即為可多方向大角度轉動之微小反射鏡，應用於光學用途及眼角膜開刀術。此致動器之原理乃利用兩接合相異材料雙層板經加熱後，因熱膨脹係數 變形現象，若結合四根長樑於致動器四周，並配合形狀上 i利用電流加熱長樑使之彎曲變形，達成大角度多方向轉動或垂直移動之動作。由於在半導體製程技術中有許多限制異於傳統機械加工，所以必須考量製程之特性與限制作出較可行之設計並研製出此致動器。電腦分析也將應用於此致動器之特性分析，利用有限元素分析軟體 ANSYS51馱屁鰼騏S性與作動方式，並作為設計與尺寸之參考依據。

[1] 林育生, 徐文祥 (1996). Thermally Actuated Bimorph Microactuators, CSME, 第十三屆機械工程學術研討會, 台北台灣大學。

[2] Y. S. Lin, C. S. Pan, and W. Hsu, "Thermally Actuated Bimorph Microactuators." Journal of Chinese Society of Mechanical Engineers 1997, 18, 525-531.