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加工装置
超精密加工機械
精密３軸加工装置
超精密立型研削盤
研磨加工機
ナノ放電加工機
（株）進興製作所
SGR-700
ピコ秒パルスレーザ加工装置
EKSPLA PL2200
（株）ナガセインテグレックス
Optimu Value Creator NAGASE
（株）ソディック
AE05
計測装置
SEM
日本電子(株)
電界放射走査電子顕微鏡
JSM-6330F
AFM
セイコーインスツル(株)
プローブ顕微鏡
SPI3800SS
表面粗さ計測器
(株)ミツトヨ
SV9624 3Dシステム
硬さ試験機
(株)島津製作所
ダイナミック超微小硬度計
DUH-W201/W201S
マイクロスコープ
セイコーインスツル(株)
プローブ顕微鏡
SPI3800SS
金属顕微鏡
オリンパス(株)
BHM-312L
倒立顕微鏡
(株)ニコン
エクリプスTE2000-U
形状測定装置
ZYGO(株) NewView200
Ｘ線回折装置（コリメータ式）
(株)リガク RINT2100
電子天秤
厚み計測装置
レーザ変位センサ
試料準備装置
ファインカッター
South Bay Technology Inc.
Low Speed Diamond Wheel Saw 660
研磨機
ムサシノ電子（株）
超精密研磨装置デラックス形
MA-200D
超音波洗浄機
シャープ（株）
UT-305S
SEM用試料作成装置
サンユー電子（株）
SC-701型 Quick Coater
スピンコーター
(株)アクティブ ACT-220DⅡ
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