研究設備　Facilities

 超精密加工機械

精密３軸加工装置

 超精密立型研削盤

 研磨加工機

 ナノ放電加工機

（株）進興製作所

SGR-700

ピコ秒パルスレーザ加工装置

EKSPLA PL2200 

（株）ナガセインテグレックス

Optimu Value Creator NAGASE

（株）ソディック

AE05

 SEM

日本電子(株)

電界放射走査電子顕微鏡

JSM-6330F

 AFM

セイコーインスツル(株)

プローブ顕微鏡

SPI3800SS

 表面粗さ計測器

(株)ミツトヨ

SV9624 3Dシステム

 硬さ試験機

(株)島津製作所

ダイナミック超微小硬度計

DUH-W201/W201S

 マイクロスコープ

セイコーインスツル(株)

プローブ顕微鏡

SPI3800SS

 金属顕微鏡

オリンパス(株)

BHM-312L

 倒立顕微鏡

(株)ニコン

エクリプスTE2000-U

 形状測定装置

ZYGO(株) NewView200

  Ｘ線回折装置（コリメータ式）

(株)リガク RINT2100 

 電子天秤

 厚み計測装置

レーザ変位センサ

 ファインカッター

South Bay Technology Inc.

Low Speed Diamond Wheel Saw 660

 研磨機 

ムサシノ電子（株）

超精密研磨装置デラックス形

MA-200D

 超音波洗浄機

シャープ（株）

UT-305S

SEM用試料作成装置

サンユー電子（株）

SC-701型 Quick Coater

スピンコーター

(株)アクティブ ACT-220DⅡ