2009年度

(2009.4～2010.3)

研究論文

• 1. Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Study on a microlathe with visual feedback control, International Journal of Abrasive Technology, Vol. 2, No. 1, (2009) pp.60-69

  2. 尾嶌裕隆, 村上幸博, 大塚春樹, 笹本侑弥, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: ステレオ視法によるSEM画像の3次元形状計測および復元, 精密工学会誌, Vol. 75, No. 6, (2009.6) pp.773-777

  3. Libo Zhou, Takeshi Shiina, Zhongjun Qiu, Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Toshiaki Tashiro: Research on chemo-mechanical grinding of large size quarts glass substrate, Precision Engineering, Voi. 33, (2009) pp.499-504

  4. Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Keisuke Kishita, Zhou Libo, Hiroshi Eda, Yuji Yoshida: Study on reaction mechanism of Si and pure CeO2 for chemical-mechanical-grinding process, Journal of Vacuum Science and Technology B, Vol.27, No.3(2009), pp.1496-1502

  5. Yebing Tian, Libo Zhou, Jun Shimizu, Yusuke Tashiro, R.K. Kang: Elimination of surface scratch/texture on the surface of single crystal Si substrate in chemo-mechanical grinding (CMG) process, Applied Surface Science, (2009) pp.4205-4211

  6. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: 砥粒上すべり現象の分子動力学シミュレーション, 砥粒加工学会誌, Vol.53, No.12, (2009.12) pp.751-755

  7. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション, 砥粒加工学会誌, Vol.54, No.1, (2010.1) pp.41-44

  8. 周 立波, 光田孝仁, 清水 淳, 田 業氷, 山本武幸: Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響 第1報：モデルと解析, 砥粒加工学会誌, Vol.54, No.1, (2010.1) pp.45-49

  9. 周 立波, 光田孝仁, 清水 淳, 田 業氷, 山本武幸: Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響 第2報：実験的考察, 砥粒加工学会誌, Vol.54, No.2, (2010.2) pp.92-96

国際会議

• 1. Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto: Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reactions Assisted Grinding with Control of Interatomic Potential Parameters, Proceedings of World Tribology Congress 2009, [Japanese Society of Tribologists (JAST)], Kyoto International Conference Center, Kyoto, JAPAN, (2009.9.6-11), (9.10), p.629

  2. H. Takahashi, Y.B. Tian, J. Sasaki, J. Shimizu, L. Zhou, Y. Tashiro, H. Iwase, S. Kamiya: Effects of sodium carbonate and ceria concentration on chemo-mechanical grinding of single crystal Si wafer, Advanced Materials Research Vols.76-78, (ISAAT2009), [JSAT, ARNAM], Crowne Plaza, Gold Coast, AUSTRALIA, (2009.9.27-30), (9.28) pp.428-433

  3. Y.B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, H. Sato, R.K. Kang: A novel single step thinning process for extremely thin Si wafers, Advanced Materials Research Vols.76-78, (ISAAT2009), [JSAT, ARNAM], Crowne Plaza, Gold Coast, AUSTRALIA, (2009.9.27-30), (9.28) pp.434-439

  4. Hirotaka Ojima, Yoshitaka Yanai, Libo Zhou, Jun Shimizu: Study on Path Control Scheme by Laplacian Potential Field and Configuration Space for Vision Guided Micro Manipulation System, Advanced Materials Research Vols.76-78, (ISAAT2009), [JSAT, ARNAM], Crowne Plaza, Gold Coast, AUSTRALIA, (2009.9.27-30), (9.28) pp.725-730

  5. Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoyo: Molecular Dynamics Simulation of Chemo-mechanical Grinding (CMG) by Controlling Interatomic Potential Parameters to Imitate Chemical Reaction, Advanced Materials Research Vols.76-78, (ISAAT2009), [JSAT, ARNAM], Crowne Plaza, Gold Coast, AUSTRALIA, (2009.9.27-30), (9.28) pp.82-87

  6. Libo Zhou, Takahito Mitsuta, Jun Shimizu, Takuji Tajima, Modeling and analysis of effects of machine tool stiffness and cutting path density on infeed surface grinding of silicon wafer, Advanced Materials Research Vols.76-78, (ISAAT2009), [JSAT, ARNAM], Crowne Plaza, Gold Coast, AUSTRALIA, (2009.9.27-30), (9.29) pp.445-450

  7. Jun Shimizu, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto: Molecular Dynamics Simulation of Influence of Two-dimensional Stick-slip Phenomenon on Atomic-scale Friction Anisotropy, Proceedings of Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009 (ASPEN2009), [Japan Society for Precision Engineering (JSPE)], Station Hotel Kokura, Kitakyushu, JAPAN, (2009.11.11-13), (11.11), 5p

  8. Hisashi Sato, Yebing Tian, Jun Shimizu, Libo Zhou: Study on ultra-precision machining process of silicon-based etalon, Proceedings of Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009 (ASPEN2009), [JSPE], Station Hotel Kokura, Kitakyushu, JAPAN, (2009.11.11-13), (11.12), 4p

  9. Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto: Research on Enhancement of Photocatalystic Activities of Titanium Dioxide Film Surface by Generating Microcutting Grooves, Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Osaka University Convention Center, Osaka, JAPAN, (2009.12.2-4), (12.4), pp.611-614

  10. Hirotaka Ojima, Yoshitaka Yanai, Libo Zhou, Jun Shimizu: Study on Path Control Scheme by Potential Method for Vision Guided Micro Manipulation System, Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Osaka University Convention Center, Osaka, JAPAN, (2009.12.2-4), (12.4), pp.627-630

  11. Takashi Mizoguchi, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto: Research on Chemical Reaction Assisted Ultra-short Pulsed Laser Cleavage-cutting of Sillicon Wafer, Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Osaka University Convention Center, Osaka, JAPAN, (2009.12.2-4), (12.4), pp.631-634

  12. Yuya Sasamoto, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu: Research on 3D data Acquisition and Configuration of Live Images, Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Osaka University Convention Center, Osaka, JAPAN, (2009.12.2-4), (12.4), pp.635-638

著書および解説

• 1. 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 溝口高史: Siウエーハのレーザダイジングに関する研究＝ピコ秒パルスレーザによる液中加工の検討＝, 光アライアンス, (2009.7), pp.20-23

口頭発表

• 1. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削・研磨現象の分子動力学シミュレーション, （社）日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集, [社団法人日本トライボロジー学会, JAST], 国立オリンピック記念青少年総合センター, 東京, (2009.5.18-20), (5.20) pp.263-264

  2. 箭内善宇, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳: ラプラスポテンシャルを用いたマイクロマニピュレータの経路生成と速度制御に関する研究, 茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 筑波大学筑波キャンパス, つくば市, 茨城県, (2009.8.25), pp.119-120

  3. 野々村和隆, 小野真志, 周 立波, 清水 淳: 大口径薄片SiウエハのOn-machine 3D形状計測システムの開発 第2報, 茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 筑波大学筑波キャンパス, つくば市, 茨城県, (2009.8.25), pp.121-122

  4. 三浦伸互, 周 立波, 清水 淳, 山本武幸: 物理・化学作用によるSiC加工に関する研究, 茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 筑波大学筑波キャンパス, つくば市, 茨城県, (2009.8.25), pp.129-130

  5. 大曽根渡, 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: 電気・化学・機械複合ナノ加工に関する研究, 茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 筑波大学筑波キャンパス, つくば市, 茨城県, (2009.8.25), pp.131-132

  6. 小松崎正勝, 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: 放電によるマイクロ構造の創成に関する基礎的研究, 茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 筑波大学筑波キャンパス, つくば市, 茨城県, (2009.8.25), pp.133-134

  7. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション, 2009年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2009）講演論文集, [砥粒加工学会(JSAT)], ものつくり大学, 行田市, 埼玉県, (2009.9.2-4), (発表9.2) pp.1-4

  8. 小野真志, 菊池 翔, 周 立波, 清水 淳: 大口径・高平坦・極薄Siウエハの評価および加工技術に関する研究, 2009年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2009）講演論文集, [JSAT], ものつくり大学, 行田市, 埼玉県, (2009.9.2-4), (発表9.2) pp.5-6

  9. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: 砥粒上すべり現象の分子動力学シミュレーション, 2009年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2009）講演論文集, [JSAT], ものつくり大学, 行田市, 埼玉県, (2009.9.2-4), (発表9.2) pp.117-120

  10. 尾嶌裕隆, 箭内善宇, 周 立波, 清水 淳: 画像援用マイクロマニピュレーションシステムにおけるツールの経路生成に関する研究, 2009年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2009）講演論文集, [JSAT], ものつくり大学, 行田市, 埼玉県, (2009.9.2-4), (発表9.2) pp.211-212

  11. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: シリコンウエハ研削における切込み回数の影響の分子動力学シミュレーション, 2009年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2009）講演論文集, [JSAT], ものつくり大学, 行田市, 埼玉県, (2009.9.2-4), (発表9.3) pp.43-44

  12. 山本武幸, 溝口高史, 會澤文啓, 周 立波, 清水 淳: ピコ秒パルスレーザによるシリコンウエハの化学反応援用割断に関する研究, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, [精密工学会(JSPE)], 神戸大学六甲台キャンパス, 神戸市, 兵庫県, (2009.9.10-12), (9.10) pp.21-22

  13. 尾嶌裕隆, 笹本侑弥, 周 立波, 清水 淳: 動画を用いたステレオ法による3次元計測に関する研究, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 神戸大学六甲台キャンパス, 神戸市, 兵庫県, (2009.9.10-12), (9.11) pp.187-188

  14. 清水 淳, 周 立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆: マイクロ加工による光触媒機能制御に関する研究, 日本機械学会2009年度年次大会講演論文集, [日本機械学会(JSME)], 岩手大学, 盛岡市, 岩手県, (2009.9.13-16), (9.15) pp.193-194

  15. 三上祐樹, 高橋秀典, 周 立波, 清水 淳: 2010年度砥粒加工学会卒業研究発表会発表論文集, [JSAT], 大田区産業プラザPiO, 大田区南蒲田, 東京都, (2010.3.12), (3.12) pp.1-2

  16. 小松田恭平, 笹本侑弥, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳: ステレオ法のための特徴点抽出法の最適化に関する研究, 2010年度砥粒加工学会卒業研究発表会発表論文集, [JSAT], 大田区産業プラザPiO, 大田区南蒲田, 東京都, (2010.3.12), (3.12) pp.55-56

  17. 會澤文啓, 溝口高史, 清水 淳, 周 立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆: ピコ秒レーザによるダイヤモンド工具表面のテクスチャリングに関する基礎的研究, 第17回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集CDROM, [JSPE], 埼玉大学, さいたま市, 埼玉県, (2010.3.16), (3.16) pp.5-6

  18. 高森 郁, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳: マイクロ構造による光触媒機能の向上に関する研究, 第17回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集CDROM, [JSPE], 埼玉大学, さいたま市, 埼玉県, (2010.3.16), (3.16) pp.9-10

修士論文・卒業論文

修士論文

• 1. 笹本侑弥: ステレオ法による3次元計測に関する研究

  2. 溝口高史: 光化学反応を利用したシリコンウエハの高能率精密割断に関する研究

卒業論文

• 1. 會沢文啓: ピコ秒レーザによるダイヤモンド工具表面のテクスチャリングに関する基礎的研究

  2. 植崎圭人: 局所的静水圧場付加型切削の分子動力学シミュレーション

  3. 菊池翔: 大口径薄片SiウエハのOn-Machine 3D形状計測システムの自動化に関する研究

  4. 北浦善兼: SiウエハのReclaimに関する基礎研究

  5. 小松田恭平: ステレオ法のための特徴点抽出手法の最適化に関する研究

  6. 鈴木直紀: ナノ掘起し電極リソグラフィー技術に関する研究

  7. 高森郁: マイクロ構造による光触媒機能の向上に関する研究

  8. 野々村和隆: Siウエハの幾何計測における誤差解析に関する研究

  9. 長谷川直美: マイクロ表面構造による色素増感太陽電池の高効率化に関する研究

  10. 三上祐樹: CMG砥石およびCMGプロセスに関する研究

  11. MUHAMMAD IQBAL SHAHRIL BIN HAMIL: 音響浮揚を用いた新しい砥粒加工方式の考案および開発に関する研究

新聞・雑誌・受賞

特許