2006年度

(2006.4～2007.3)

研究論文

• 1. J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda: Molecular dynamics simulation of vibration-assisted cutting: influences of vibration parameters, Int. J. Manufacturing Technology and Management, 9, 1/2 (2006.5) pp.120-129

  2. L. Zhou, Z. Qiu, T. Ishikawa, T. Kawakami, H. Eda: Development of vision controlled bio-cell manipulation system, Int. J. Manufacturing Technology and Management, 9, 1/2 (2006.5) pp.130-143

  3. 石川友彦, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 尾嶌裕隆, 山本佳男, 川上辰男: 顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発, 砥粒加工学会誌, 50, 6, (2006.6) pp.318-323

  4. Libo Zhou, Hiroshi Eda, Jun Shimizu, Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Shun-ichiro Kimura: Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grindin, CIRP Annals, 55, 1 (2006.8) pp.313-316

  5. Jun Shimizu, Etsuji Ohmura, Yoshifumi Kobayashi, Shoichi Kiyoshima, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Analysis of Elementary Process of Coating by a High-Temperature, High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of a Droplet), JSME International Journal, Series C, 49, 2, (2006.6), pp.505-511

  6. Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Molecular dynamics simulation of vibration-assisted cutting: influence of vibration, acceleration and velocity, International Journal of Nanomanufacturing, 1, 1, (2006.11), pp.105-116

  7. Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process, Key Engineering Materials, 329, (2007.1) pp.373-378

  8. Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Tetsuya Nagaike, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Shun-ichiro Kimura: Microstructural Analysis for Si Wafer after CMG Process, Key Engineering Materials, 329, (2007.1) pp.367-372

  9. Hidemitsu Okabe, Takashi Tsumura, Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Experimental and Simulation Research on Influences of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer, Key Engineering Materials, 329, (2007.1) pp.379-384

国際会議

• 1. Hiroraka Ojima, Katsuhiro Saito, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Visual Feedback Control of a Micro Lathe, Towards Synthesis of Micro-/Nano-systems (The 11th International Conference on Precision Engineering (ICPE)), Tokyo, Japan, (2006.8.16-18) pp.133-137

  2. Bahman Soltani Hosseini, Libo Zhou, Tatsuya Tsuruga, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase: Study on Subsurface Damage Generated in Ground Si Wafer, Towards Synthesis of Micro-/Nano-systems (The 11th International Conference on Precision Engineering (ICPE)), Tokyo, Japan, (2006.8.16-18) pp.309-313

  3. Hiroyuki Asano, Zhougjun Qiu, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Tomohiko Ishikawa, Hiroshi Eda: Path Control Scheme for Vision Guided Micro Manipulation System, Towards Synthesis of Micro-/Nano-systems (The 11th International Conference on Precision Engineering (ICPE)), Tokyo, Japan, (2006.8.16-18) pp.321-322

  4. Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-scale, Proceedings of ASIATRIB 2006, Kanazawa, Japan, (2006.10) pp.525-526

  5. Hidemitsu Okabe, Takashi Tsumura, Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Study on Influences of Temperature on Diamond Nano-scratching of Silicon Wafer, Proceedings of the Second International Student Conference at Ibaraki University (2nd ISCIU), Ibaraki, Japan, (2006.10.5) pp.140-145

  6. Yasutomo Kawakami, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Hiroshi Eda: Study on Integrated Micro EDM and Spattering Process, Proceedings of the Second International Student Conference at Ibaraki University (2nd ISCIU), Ibaraki, Japan, (2006.10.5) pp.159-164

  7. Yousuke Yoshihara, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Research on Micro/nano Machining in Vacuum, Proceedings of the Second International Student Conference at Ibaraki University (2nd ISCIU), Ibaraki, Japan, (2006.10.5) pp.172-177

著書および解説

• 1. Hiroshi Eda: Chapter 1: Ductile Grinding of Ceramics: Machine Tool and Process, pp.1-28, "Handbook of advanced ceramics machining", (2006.11)

  2. 江田 弘, 尾嶌裕隆: 第9章第7節「超磁歪アクチュエータ」pp.329-340, "未来型アクチュエータ材料・デバイス", (2006.12), シーエムシー出版

  3. 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: 塑性ひずみ軽減加工とφ300Siウエハ完全表面創成加工の評価, 月刊トライボロジー, (2007.3) pp.56-58

口頭発表

• 1. 敦賀達也, Soltani Bahman Hosseini, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 研削したシリコンウエハの残留応力に関する研究, 2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2006.8.24) pp.37-38

  2. 周 立波, 山口 誠, 清水 淳, 江田 弘: 研削加工におけるSiウエハ組織の相転換, 2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2006.8.24) pp.39-40

  3. 清水 淳, 岡部秀光, 津村貴史, 周 立波, 江田 弘: ダイヤモンド砥粒によるナノ加工実験とシミュレーション, 2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2006.8.25) pp.53-54

  4. 萩谷淳史, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 超短パルスレーザによるシリコンウエハ割断法に関する研究, 2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2006.8.25) pp.125-126

  5. 津村貴史, 陶久夢高, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきにおける温度の影響, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.59-60

  6. 佐々木淳一, 敦賀達也, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: CMGによるパターンウエハの平坦化に関する研究, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.15) pp.61-62

  7. 光田孝仁, バーマン ソルタニ ホセイニ, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: On-Machine 3D形状計測システムの開発, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.63-64

  8. 金子翔一, 萩谷淳史, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.67-68

  9. 大島泰成, 川上康友, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: EDMによる高アスペクト比微細深孔加工に関する研究, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.69-70

  10. 藤森健太, 吉原庸介, 尾嶌裕隆, 周 立波, 江田 弘: 真空中におけるマイクロ・ナノ加工機構に関する研究, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.71-72

  11. 清水元喜, 浅野裕之, 周 立波, 尾嶌裕隆, 仇 中軍, 石川友彦, 江田 弘:マイクロマニピュレーションの軌道制御に関する研究, 2006年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2006.9.15) pp.73-74

  12. 仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘, 山田昌隆, 松本健一: 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発, 日本機械学会年次大会, (2006.8.19) pp.43-44

  13. 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 原子摩擦異方性の分子動力学シミュレーション, 2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2006.9.20) pp.749-750

  14. 尾嶌裕隆, 吉原庸介, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 画像情報援用マイクロ加工機の開発, 2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2006.9.22) pp.781-782

  15. 津村貴史, 清水 淳, 岡部秀光, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきに関する研究―温度による影響―, 2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2006.9.22) pp.911-912

  16. 染谷研二, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 金型の微細加工に関する研究, 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集, (2006.11.24) pp.21-22

  17. 仇 中軍, 椎名剛志, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘: 光学ガラスの超精密CMG加工に関する研究, 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集, (2006.11.24) pp.27-28

  18. 周 立波, 敦賀達也, バーマン・ソルタニ, 清水 淳, 江田 弘, 福西利夫, 岡西幸緒: 大口径シリコンウエハの研削加工と加工変質層, 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集, (2006.11.24) pp.31-32

  19. 清水 淳, 岡部秀光, 津村貴史, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかき実験とシミュレーション, 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集, (2006.11.24) pp.99-100

  20. 楠原隆之, 三宅佑治, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 超磁歪素子を用いた振動子に関する研究, 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集, (2006.11.24) pp.157-158

  21. 村上幸博, 大塚春樹, 仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 江田 弘: ステレオ法によるSEM画像からの3次元微細形状計測, 2007年度精密工学会春季大会 14回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集, (2007.3.20) pp.7-8

  22. 光田孝仁, バーマン ソルタニ ホセイニ, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘:On-machine 3D形状計測システムの開発と評価, 2007年度精密工学会春季大会 14回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集, (2007.3.20) pp.9-10

  23. 尾嶌裕隆, 吉原庸介, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 真空中でのマイクロ加工機による精密加工の研究, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2007.3.20) pp.677-678

  24. 津村貴史, 岡部秀光, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきに関する研究―ダイヤモンドプローブによるナノパターン創成の検討―, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2007.3.22) pp.281-282

  25. 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 分子動力学法による原子摩擦異方性の解析, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2007.3.21) pp.823-824

  26. 田代芳章, バーマン・ソルタニ, 敦賀達也, 周 立波, 江田 弘: 高能率CMG加工に関する研究, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2007.3.20) pp.1143-1144

博士論文・修士論文・卒業論文

博士論文

• 1. 谷山久法: 鋼の合金粒子と結晶のマイクロ・ナノトライボロジーに関する研究

修士論文

• 1. 浅野裕之: 画像情報によるマイクロマニピュレータの制御

  2. 岡部秀光: ポテンシャル制御によるシリコンの化学作用援用加工の分子動力学シミュレーション

  3. 川上康友: EDMによるマイクロ加工に関する研究

  4. 染谷研二: 金型の微細加工に関する研究

  5. 吉原庸介: 真空中におけるマイクロ･ナノ加工機構に関する研究

卒業論文

• 1. 梓沢慶介: 光触媒の機械特性に関する研究

  2. 大島泰成: EDMによる微細深孔加工に関する研究-スラッジ除去法の検討-

  3. 金子翔一: 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究

  4. 郡司 学: サスペンジョン流動電解加工に関する研究

  5. 佐々木淳一: 高能率CM砥石の開発

  6. 清水元喜: 動体に対するマイクロマニピュレーションに関する研究

  7. 陶久夢高: 複雑ナノ隆起構造の創成に関する研究

  8. 藤森健太: マイクロ旋盤の自由経路制御に関する研究

  9. 光田孝仁: 大口径薄片SiウエハのOn-machine3D形状計測システムの開発

  10. 三宅佑治: 超磁歪素子を用いた振動子に関する研究

  11. 村上幸博: ステレオ視法による3次元データ構築に関する研究

新聞・雑誌・受賞

• 1. 大久保瞳: マザック財団 優秀論文, (2006.6.7)

  2. 村上幸博: 精密工学会・第14回学生会員卒業研究発表講演会 優秀講演賞, (2007.3.20)

特許