2011年度

(2011.4～2012.3)

研究論文

• 1. Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou: Deformation and material removal in a nanoscale multi-layer thin film solar panel using nanoscratch, International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol.51, (2010.12), pp. 182-189

  2. Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou: Multi-scale deformation and material removal in amorphous Si thin film solar panels, International Journal of Nanomanufacturing, Vol. 7, No. 1, (2011), pp. 39-53

  3. L. Zhou, Y. B. Tian, H. Huang, H. Sato, J. Shimizu: A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers, Journal of Engineering Manufacture: Proceedings of IMechE, Vol. 226, Part B, (2011.6), pp. 66-75

  4. Yongbo Wu, Yaguo Li, Zhenzhong Wang, Wei Yang, Libo Zhou: Performance improvement of chemo-mechanical grinding in single crystal silicon machining by the assistance of elliptical ultrasonic vibration, International Journal of Abrasive Technology, Vol. 4, No. 2, (2011.7.29), pp. 117-131

  5. Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou, Jun Shimizu: Nanogrinding of multi-layered thin film amorphous Si solar panels, International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol.51, (2011.7), pp. 797-805

  6. Y. B. Tian, L. Zhou, Z. W. Zhong, H. Sato, J. Shimizu: Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, Vol.26, (2011.8), pp. 1-7

  7. 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀: Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析－ナノスクラッチ実験と分子動力学シミュレーションによる検討－, 砥粒加工学会誌, Vol. 55, No. 11, (2011.11), pp. 662-667

  8. 周 立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水 淳: 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究－第1報：ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発－, 精密工学会誌, Vol. 77, No. 12 (2011.12), pp. 1165-1169

  9. 小貫哲平，小野竜典，尾嶌隆裕，清水淳，周立波: 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法, 砥粒加工学会誌, Vol. 55, No. 12, (2011.12), pp. 729-732

国際会議

• 1. Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou: Spectroscopic measurements of silicon wafer thickness for backgrinding process, The 14th International Symposium of Advances in Abrasive Technology (ISAAT2011), [JSAT, DFG(German Research Foundation), ICAT(International Committee for Abrasive Technology)], Maritim Hotel Stuuugart, Stuuugart, GERMANY, (2011.9.18-21), (9.20), Advanced Material Research, Vol. 325, pp. 672-677

  2. Yuki Mikami, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Yoshiaki Tashiro, Sumio Kamiya: Development of CMG Wheels for Stress Relief in Si Wafer Thinning Process, The 14th International Symposium of Advances in Abrasive Technology (ISAAT2011), [JSAT, DFG(German Research Foundation), ICAT(International Committee for Abrasive Technology)], Maritim Hotel Stuuugart, Stuuugart, GERMANY, (2011.9.18-21), (9.20), Advanced Materials Research Vol. 325, pp. 678-683

  3. Kaoru TAKAMORI, Hirotaka OJIMA, Libo ZHOU, Teppei ONUKI, Jun SHIMIZU, Takeyuki YAMAMOTO: Image based defect detection algorithm by use of wavelet transformation, the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Omiya Sonic City, Saitama, JAPAN, (2011.11.8-10), (11.9), Proceedings of 6th LEM21, 4p

  4. Jun SHIMIZU, Wataru OHSONE, Hirotaka OJIMA, Teppei ONUKI, Libo ZHOU, Takeyuki YAMAMOTO: Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography, the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Omiya Sonic City, Saitama, JAPAN, (2011.11.8-10), (11.9), Proceedings of 6th LEM21, 4p

  5. Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto: Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon, International Tribology Conference (ITC) Hiroshima 2011), International Conference Center Hiroshima, Hiroshima, JAPAN, (2011.10.30-11.3), 1p

  6. Hirotaka OJIMA, Kazutaka NONOMURA, Libo Zhou, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI: Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement - Denoising by total variation -, Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011 (ASPEN2011), [Japan Society for Precision Engineering (JSPE)], Langham Place Hong Kong Hotel, Mong Kok, HONG KONG, (2011.11.16-18), (11.16), Proceedings of ASPEN2011, 5p

  7. Tomohiro INADA, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Teppei ONUKI, Jun SHIMIZU: Development of novel polishing system by use of acoustic trap, Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011 (ASPEN2011), [Japan Society for Precision Engineering (JSPE)], Langham Place Hong Kong Hotel, Mong Kok, HONG KONG, (2011.11.16-18), (11.17), Proceedings of ASPEN2011, 5p

  8. Jun Shimizu, Go Kobayashi, Naomi Hasegawa, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou: Influence of Surface Micro Texture on Photocatalitic Function of Titanium Dioxide Film, THERMEC2011 International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials, Quebec City Convention Centre, Quebec City, CANADA, (2011.8.1-5), Materials Science Forum Vols. 706-709, (2012), pp. 2646-2651

著書および解説

• 1. 小貫哲平: マイクロ熱発電, 静電気学会誌, Vol. 35, No. 5, (2011.10), pp. 208-213

  2. 清水 淳: 忘れじの豪州クイーンズランド, 砥粒加工学会誌, Vol. 56, No.1, (2012.1), pp. 52-53

口頭発表

• 1. 千葉栄馬【学部B4】, 蛯名雄太郎, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 清水 淳, 周 立波: 極薄Siウエハ研削技術に関する研究, 第19回茨城講演会講演論文集, [日本機会学会(JSME)関東支部, 精密工学会(JSPE)], 茨城大学 日立キャンパス, 日立市, 茨城県, (2011.8.26), (8.26), 講演論文集, pp. 177-178

  2. 高野巧一郎【学部B4】, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 周 立波: ナノスクラッチによる金型製造に関する研究, 第19回茨城講演会, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学 日立キャンパス, 日立市, 茨城県, (2011.8.26), (8.26), 講演論文集, pp. 185-186

  3. 小野里真路【学部B4】, 植田陽大, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 周 立波: 極細電極を用いたマイクロEDMによる微小構造創成に関する研究, 第19回茨城講演会, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学 日立キャンパス, 日立市, 茨城県, (2011.8.26), (8.26), 講演論文集, pp. 187-188

  4. 尾嶌裕隆, 野々村和隆, 高森 郁, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平: Wavelet変換による大口径Si ウェハの計測評価技術に関する研究, 2011年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2011）, [JSAT], 中部大学, 春日井市, 愛知県, (2011.9.7-9), (9.8), 講演論文集, pp. 77-78

  5. 尾嶌裕隆, 稲田智広, 周 立波, 小貫哲平, 清水 淳: 音響浮揚を用いた砥粒加工方式の開発に関する研究, 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会, [精密工学会(JSPE)], 金沢大学, 金沢市, 福井県, (2011.9.20-22), (9.20), 講演論文集(CD-ROM), pp. 772-773

  6. 山本武幸, 小林 剛, 清水 淳, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周 立波: 微小切削テクスチャによる光触媒機能の向上に関する研究, 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会, [精密工学会(JSPE)], 金沢大学, 金沢市, 福井県, (2011.9.20-22), (9.21), 講演論文集(CD-ROM), pp. 351-352

  7. 清水 淳, 高野巧一郎, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 山本武幸, 周 立波: SPM によるナノ構造の創成に関する研究－機械および電気的手法による検討－, 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会, [精密工学会(JSPE)], 金沢大学, 金沢市, 福井県, (2011.9.20-22), (9.21), 講演論文集(CD-ROM), pp. 357-358

  8. 小貫哲平, 長谷川直美, 太田哲哉, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波: 幾何光学を用いた光拡散素子の設計技術の研究開発, 第19回電気学会東京支部茨城支所研究発表会, [電気学会], 日立シビックセンター, 日立市, 茨城県, (2011.11.19), (11.19), 講演予稿集, p. 65

  9. 小貫哲平, 小野竜典, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波: 半導体ウェハ裏面研削工程に用いるウェハ厚さ計の研究開発, 第19回電気学会東京支部茨城支所研究発表会, [電気学会], 日立シビックセンター, 日立市, 茨城県, (2011.11.19), (11.19), 講演予稿集, pp. 17

  10. 尾嶌裕隆, 野々村和隆, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平: Siウエハの計測評価技術におけるノイズフィルタに関する研究―Total variationを用いたフィルタ設計―, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会, [JSPE], 首都大学東京南大沢キャンパス, 八王子市, 東京都, (2011.3.14-16), (3.16), 講演論文集(CD-ROM)

  11. 清水 淳, 小林 剛, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周 立波: 振動切削による表面微小テクスチャ創成に関する研究, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会, [JSPE], 首都大学東京南大沢キャンパス, 八王子市, 東京都, (2011.3.14-16), (3.15), 講演論文集(CD-ROM)

  12. 蛯名雄太郎【院生M1】, 杭 偉, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸: サファイアウエハの研削加工に関する研究, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会, [JSPE], 首都大学東京南大沢キャンパス, 八王子市, 東京都, (2011.3.14-16), (3.16), 講演論文集(CD-ROM)

  13. 小野竜典【学部B4】, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波: 反射分光による機上薄板半導体ウェハ厚さ測定, 第19回学生会員卒業研究発表講演会, [JSPE], 首都大学東京南大沢キャンパス, 八王子市, 東京都, (2011.3.14), (3.14), 講演論文集(CD-ROM)

  14. 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波: 幾何光学を用いた表面光拡散微細構造の設計, 2012年春季 第59回応用物理学関係連合講演会, 早稲田大学 早稲田キャンパス, 新宿区, 東京都, (2012.3.15-18)

修士論文・卒業論文

修士論文

• 1. 會沢文啓: 機能性軟脆材料のレーザ微細加工に関する研究

  2. 植崎圭人: 分子動力学を用いた静水圧場生成型切削工具の開発に関する研究

  3. 小林剛: 微小テクスチャによる光触媒膜の高機能化に関する研究

  4. 鈴木直紀: シリコンウエハ前加工が仕上げ加工に及ぼす影響の分子動力学シミュレーション

  5. 高森郁: ウェーブレット変換によるディジタルフィルタの開発に関する研究 -シフト不変性の実現と偽ギブス現象の抑制-

  6. 野々村和隆: 大口径Siウエハの高精度形状計測に関する研究 -Total variationによるノイズ除去-

  7. 長谷川直美: 表面微細構造を利用した色素増感太陽電池の高効率化に関する研究

  8. 三上祐樹: CMG加工における砥石物性値の影響に関する研究

卒業論文

• 1. 伊藤拓哉: 音響浮揚を用いた微粒子分級法の開発に関する研究

  2. 小野里真路: 運動転写式EDMによる微細溝創成に関する研究

  3. 小野竜典: 反射分光による薄板半導体ウェハ厚さ測定の研究

  4. 鈴木泰樹: ウェーブレット変換を用いた画像処理によるキズ検査アルゴリズムに関する研究

  5. 高野巧一郎: 機械・化学複合加工によるナノ深溝パターンの創成に関する研究

  6. 千葉栄馬: シリコンウエハの加工変質層の評価と除去に関する基礎研究

  7. 村山一平: 炭素系構造材料のレーザー微細加工特性に関する研究

  8. 谷口博則: UVアシストによる単結晶シリコンウエハのCMG加工

新聞・雑誌・受賞

特許