ものづくり分野で活躍する先端光技術の研究を推進しています

研究プロジェクトの代表例

設計

• • 光線追跡・モンテカルロ法を用いた幾何光学ベース自由曲面系光学素子設計

  • フレネル-ホイヘンス回折に基づいた波動光学ベース光学素子設計

  • 有限時間領域差分法（FDTD）法を用いた電磁場光学ベース光学素子設計

加工

• • レーザアブレーションによる脆性・多機能単結晶（MEMSプラットフォーム）材料への微細加工技術

  • マイクロ光造形技術

  • 近接場光学顕微鏡ベース陽極酸化微細加工技術

測定

• • 白色干渉反射分光計測によるオンライン極薄ウェハ厚さ測定技術

  • 波面計測技術を用いたウェハ表面形状エリア計測技術

  • プラズマ端反射微分分光を用いた導電率計測技術

  • 分光カメラによる寸法・材質特性のエリア計測技術

  • ファイバ光学系を用いた狭歪空間内立体形状計測技術

  • 音響場可視化計測技術

デバイス・システム

• • SAW-radiation force, -streaming デバイス

  • 植物工場省エネ近接拡散照明デバイス

  • 同時高精細エリア分光カメラ

参考資料・過去の研究プロジェクト