2018年度
(2018.4～2019.3)
〔研究論文〕
（Precision Engineering）
Study on the finishing capability and abrasives-sapphire interaction in dry
chemo-mechanical-grinding (CMG) process
Ke Wu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Julong Yuan
（精密工学会誌）
実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査
蛯名雄太郎, 前崎智博, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 乾 正知
（砥粒加工学会誌）
ロータリ型インフィード平面研削メカニズムに関する研究
― 無線式動力計の開発と研削抵抗の評価 ―
石橋 憲, 月井裕太, 蛯名雄太郎, 周 立波, 清水 淳, 山本武幸, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
〔国際会議〕
（45th Leeds-Lyon Symposium on Tribology）
Friction Characteristics of Mechanically Microtextured Metal Surface in Dry Sliding
Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto,
Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
（The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2018)）
Development of high efficiency CMG pellets for finishing mono-crystal sapphire
Jianbin Wang, Tomohito Maezaki, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima,
Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou
Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Sliding Element
Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
Comparative investigation of subsurface damages induced on sapphire with different machining methods using micro Raman spectroscopy
Teppei Onuki, Ke Wu, Kazuki Kamoshida, Piao Lin, Nao Sugano,
Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
（The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)）
Investigation on high temperature grinding of mono-crystal sapphire wafer
Nao Sugano, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Ken Ishibashi, Mituru Kaneyasu
Cross-sectional measurement of laser damage in sapphire using confocal micro Raman spectrometer
Teppei Onuki, Kazuki Kamoshida, Takeyuki Yamamoto,
Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
Running-in Behavior of Mechanically Microtextured Metal Surfacesin Dry Sliding
Tomotaka Nakayama, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki,
Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kouta Watanabe
Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Rolling Element
Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima,
Teppei Onuki, Libo Zhou, Kazuki Komatsuzaki
〔解説〕
（機械技術）
硬質単結晶ウエハの研削加工の基礎
周 立波
（砥粒加工学会誌）
国際シンポジウム ISAAT2018 開催報告
清水 淳
〔口頭発表〕
（第19回高エネ研メカ・ワークショップ）
CFRP穴開け加工機および加工プロセスの開発
青柳晃太, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平
Study on anisotropy effect on mechanical properties of LT wafer
Wentong Lu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
（トライボロジー会議2018春）
微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討
清水 淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
（第26回茨城講演会）
サファイアウエハの研削メカニズムに関する研究
―盛り上がり係数が除去モードに及ぼす影響―
長谷川滉輔, 菅野 直, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
Bondless Abrasive Pellet の開発及びサファイアウエハの仕上げ加工への応用
東瀬大知, WANG Jianbin, 前崎智博, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
（2018年度砥粒加工学会(ABTEC)）
ロータリー型インフィード平面研削メカニズムに関する研究
－無線式動力計の開発と研削抵抗の評価－
石橋 憲, 月井裕太, 蛯名雄太郎, 周 立波, 清水 淳,
山本武幸, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
C面サファイア基板のナノ引っかきに関する研究
－hcp金属のナノ引っかきシミュレーションによる変形挙動の解析－
林 旺票, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 矢野直彦
（2018年度精密工学会秋季大会）
サファイアへの深部レーザ加工の検討
小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波
多層ニューラルネットワークによる加工数理モデルの導出
小室達哉, 小貫哲平, 周 立波, 清水 淳, 尾嶌裕隆
単結晶サファイアウエハ仕上げ用高集中度CMG砥石の開発
前崎智博, Wang Jianbin, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
Cu-W細電極による微小放電堆積過程の検討
山本武幸, 石井雅人, 小井沼陽希, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
CRFP穴あけ加工機および加工プロセスの開発
尾嶌裕隆, 青柳晃汰, 宇野倫和, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平
（トライボロジー会議2018秋）
微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第2報）
― 被覆率による影響 ―
清水 淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
（先進テクノフェアATF（Advanced Technology Fair）2019 卒業研究発表会）
顕微Raman断層計測によるサファイア研削面損傷の評価
管 駿輔, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波
（2019年度精密工学会春季大会）
局所圧縮静水圧援用切削の開発—すべりおよび転がり式冶具による切削性能への効果—
清水 淳, 山本武幸, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 小松崎一気
放電付加加工による表面テクスチャの創成（第1報）
—直線走査による単純テクスチャの創成—
小井沼陽希, 石井雅人, 川尻淳裕, 山本武幸, 清水 淳,
周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
深層学習による生産加工の数理モデルの確立と応用
周 立波, 小室達哉, 劉 応龍, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 山本武幸
Acquisition of 3D topography for abrasive grains based on deep learning
Yinglong Liu, Libo Zhou, Tatsuya Omuro, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu
〔修士論文・卒業論文〕
（修士論文）
放電堆積による三次元微小構造の創成
石井雅人
深層学習による生産加工プロセスの数理モデル化に関する研究
小室達哉
炭素系硬質工具－金属試料間の微視的摩擦・摩耗現象の解析
小松崎一気
単結晶サファイアウエハの研削加工に関する研究
菅野 直
Binder-free CMG砥石の開発および単結晶サファイアDefect Free表面創成に関する研究
前崎智博
（卒業論文）
砥粒を用いた転写加工によるマイクロテクスチャリング
伊藤拓未
Ti電極を用いた放電堆積加工による硬質皮膜創成に関する研究
川尻淳裕
顕微Raman断層計測によるサファイア研削面損傷の評価
管 駿輔
EV用モータ内スロットライナの切断技術開発
鈴木竹喜
サファイアへのレーザ内部加工部における断層歪み計測法の開発
寺川京佑
Binder-free Abrasive Pelletの開発およびサファイアウエハの
仕上げ加工能率の向上に関する研究
東瀬大知
単結晶サファイアウエハの研削メカニズムに関する研究
長谷川滉輔
レーザ積層造形による工具への皮膜創成
深堀良彬
ディープラーニングによる学生成績診断システムの開発
松本圭介
分子動力学シミュレーションによるhcp結晶のナノ加工機構の検討
矢野直彦
砥石表面のリアルタイム三次元計測に関する研究
山元雅也
〔受賞〕
（2018年度 砥粒加工学会学術講演会）
優秀講演賞
石橋 憲
（2018年度 精密工学会論文賞）
実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査
蛯名雄太郎, 前崎智博, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 乾 正知