2010年度

(2010.4～2011.3)

研究論文

• 1. Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto: Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters, Journal of Computational and Theoretical Nanoscience, Vo1.7, No.10, (2010) pp.2165-2170

  2. Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou: Deformation and material removal in a nanoscale multi-layer thin film solar panel using nanoscratch, International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol. 51, Issue 3, (2011.3) pp.182-189

国際会議

• 1. Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Han Huang: Molecular Dynamics Simulation of Rubbing Phenomena in Ultra-Precision Abrasive Machining, Key Engineering Materials Vol.443, The 9th Asia-Pacific Conference on Materials Processing, University of New South Wales (Kensington Campus), Sydney, AUSTRALIA, (2010.6.7-10), (6.9) pp417-422

  2. Hidenori Takahashi（院生M2）, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya: Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Single Crystal Si Wafer, Key Engineering Materials, Vol.447-448, International Conference on Precision Engineering (ICoPE2010 & 13th ICPE), [JSPE], Singapore, (2010.7.28-30), (7.29) pp.106-110

  3. Masashi Ono（院生M2）, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu: Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement –Noise Reduction by Wavelet Transform-, Key Engineering Materials, Vol.447-448, International Conference on Precision Engineering (ICoPE2010 & 13th ICPE), [JSPE], Singapore, (2010.7.28-30), (7.28) pp.544-548

  4. Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang: Enhancement of Photocatalytic Reaction of Titanium Dioxide Film by Surface Texturing, Materials Science Forum Vols.654-656, The 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, [Materials Australia], Cairns Convention Centre, Cairns, AUSTRALIA, (2010.8.2-6), (8.5) pp.1784-1787

  5. WANG Zhen Zhong, Y. WU, L. ZHOU, GUO Yin Biao, WU Chen Xu: Two Dimensional Ultrasonic Vibration Assisted Chemo-Mechanical Grinding of Si wafer, Advanced Materials Research Vols.126-128, (International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2010)), [日本砥粒加工学会(JSAT), 台湾磨粒加工学会(TSAT)], Howard International House（福華國際文教會館）, Taipei, TAIWAN, (2010.9.19-22), (発表9.20) pp.282-288

  6. Taro Sumitomo, Libo Zhou, Han Huang: Grinding and polishing of nanolayered structures: thin film amorphous silicon solar panels, Advanced Materials Research Vols.126-128, (ISAAT2010), [JSAT, TSAT], Howard International House（福華國際文教會館）, Taipei, TAIWAN, (2010.9.19-22), (9.20) pp.817-822

  7. Wataru Ohsone（院生 M2）, Jun Shimizu, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Han Huang: Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography, Advanced Materials Research Vols.126-128, (ISAAT2010), [JSAT, TSAT], Howard International House（福華國際文教會館）, Taipei, TAIWAN, (2010.9.19-22), (9.20) pp.843-848

  8. Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou: Improvement in oxide-pattern sizes controllability on scanning probe nanolithography, Advanced Materials Research Vols.126-128, (ISAAT2010), [JSAT, TSAT], Howard International House（福華國際文教會館）, Taipei, TAIWAN, (2010.9.19-22), (9.22) pp.701-706

  9. Kazutaka Nonomura（院生 M1）, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima: Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement – Noise reduction by lifting scheme wavelet transform –, Advanced Materials Research Vols.126-128, (ISAAT2010), [JSAT, TSAT], Howard International House（福華國際文教會館）, Taipei, TAIWAN, (2010.9.19-22), (9.22) pp.732-737

  10. X.M. Song（院生 M2）, Jun Shimizu, Libo Zhou: Nanoscratching tests on nanomachined silicon (100) surface using scanning probe microscope, The 2nd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan 2010), Tianjin, CHINA, (2010.9.24-26), (6p)

  11. Taro Sumitomo, Jun Shimizu, Libo Zhou: Ductile regime deformation and material removal in nanoscale multilayers of thin film amorphous silicon solar cells, Proceedings of 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting 2010, Nagaragawa Convention Center, Gifu, JAPAN, (2010.10.24-26), (10.26) (4p)

  12. Jun Shimizu, Naoki Suzuki, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang: Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications, International Tribology Congress – ASIATRIB 2010, Hyatt Regency, Perth, AUSTRALIA, (2010.12.5-9), (12.7) (1p)

  13. Keito Uezaki（院生 M1）, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto: Development of Cutting Tool Accompanied by Local Hydrostatic Pressure Field Formation - Proposal of Cutting Model by Using Molecular Dynamics -, Proc. of the 6th International Conference on Micromanufacturing (ICOMM2011), Tokyo Denki University, Tokyo, JAPAN, (2011.3.7-10), (3.8) pp. 13-17.

  14. Fumihiro Aizawa（院生 M1）, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou: Short pulse laser micro machining on hard and brittle monocrystal surfaces, Proc. of the 6th International Conference on Micromanufacturing (ICOMM2011), Tokyo Denki University, Tokyo, JAPAN, (2011.3.7-10), (3.9) pp. 339-343.

著書および解説

口頭発表

• 1. 三上祐樹（院生M1）, 高橋秀典, 清水 淳, 周 立波: CMG砥石およびCMGプロセスに関する研究, 2010年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2010）講演論文集, [JSAT], 岡山大学, 岡山市, 岡山県, (2010.8.26-28), (8.26)

  2. 周 立波, 小野真志, 野々村和隆, 尾嶌裕隆, 小貫哲平: 大口径Siウェハの計測評価技術に関する研究 第1報：Wavelet変換によるSiウェハ評価に関する研究, 2010年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2010）講演論文集, [JSAT], 岡山大学, 岡山市, 岡山県, (2010.8.26-28), (8.26)

  3. 佐藤 悠（院生M2）, 蛯名雄太郎, 清水 淳, 周 立波: CMGによる極薄化シリコン製エタロン基板加工に関する研究, 2010年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2010）講演論文集, [JSAT], 岡山大学, 岡山市, 岡山県, (2010.8.26-28), (8.26)

  4. 植田陽大（学部B4）, 小貫哲平, 周 立波: マイクロ流路デバイス用レーザー流速計の開発, 第18回茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学水戸キャンパス, 水戸市, 茨城県, (2010.8.27), pp.177-178

  5. 稲田智広（学部B4）, 箭内善宇, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳: 音響浮揚を用いた砥粒加工方式の考案および開発に関する研究, 第18回茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学水戸キャンパス, 水戸市, 茨城県, (2010.8.27), pp.179-180

  6. 長谷川直美（院生M1）, 小貫哲平, 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: マイクロ表面構造による色素増感太陽電池の高効率化に関する研究, 第18回茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学水戸キャンパス, 水戸市, 茨城県, (2010.8.27), pp.181-182

  7. 高森 郁（院生M1）, 小野真志, 野々村和隆, 周 立波, 尾嶌裕隆: Wavelet 変換を用いた画像処理によるキズ検査システムの開発, 第18回茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学水戸キャンパス, 水戸市, 茨城県, (2010.8.27), pp.185-186

  8. 高木直人（学部B4）, 小貫哲平, 周 立波: 光Critical Dimension 計測技術による金属配線プロセス評価の検討, 第18回茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学水戸キャンパス, 水戸市, 茨城県, (2010.8.27), pp.187-188

  9. 高森 郁（院生M1）, 小野真志, 野々村和隆, 周 立波, 尾嶌裕隆: Wavelet変換を用いた画像処理によるキズ検査に関する研究, 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [精密工学会(JSPE)], 名古屋大学, 名古屋市, 愛知県, (2010.9.27-29), (9.27) pp.417-418

  10. 小松崎正勝（院生M1）, 清水 淳, 周 立波, 山本武幸: マイクロＥＤＭによる微細構造創成に関する研究, 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 名古屋大学, 名古屋市, 愛知県, (2010.9.27-29), (9.28) pp.235-236

  11. 植崎圭人（院生M1）, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆: 局所的静水圧付加型切削の加工モデル提案, 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 名古屋大学, 名古屋市, 愛知県, (2010.9.27-29), (9.29) pp.117-118

  12. 會澤文啓（院生M1）, 植田陽大, 小貫哲平, 周 立波, 清水 淳, 尾嶌裕隆, 山本武幸: 難加工単結晶材料へのパルスレーザーマイクロ加工, 第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム論文集(CDROM), [日本機械学会(JSME)], くにびきメッセ（島根県立産業交流会館）, 松江市, 島根県, (2010.10.13-15), (10.14) (2p)

  13. 清水 淳, 大曽根渡, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周 立波: ナノスクラッチによる金型製作とその応用に関する研究, 2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14-16), (3.14) pp.969-970

  14. 小野真志（院生M2）, 野々村和隆, 周 立波, 尾嶌裕隆, 小貫哲平: 大口径Si ウェハの計測評価技術に関する研究―第2 報： 複素数Wavelet 変換によるノイズ除去―, 2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14-16), (3.14) pp.351-352

  15. 高木直人, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波: 分光計測による薄片化シリコンウエハ厚み計測技術の開発, 2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14-16), (3.15) pp.1029-1030

  16. 尾嶌裕隆, 高森 郁, 小野真志, 野々村和隆, 周 立波: ウェーブレット変換を用いた画像処理によるキズ検査アルゴリズムに関する研究, 2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14-16), (3.15) pp.757-758

  17. 稲田智広（学部B4）, 周 立波, 尾嶌裕隆, 箭内善宇, 小貫哲平, 清水 淳, 山本武幸: 音響浮揚を用いた円管内面砥粒加工方式の開発および研究, 第18回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14), (3.14)

  18. 植田陽大（学部B4）, 小貫哲平, 周 立波: マイクロ流体デバイス用レーザー流速計の開発, 第18回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集(CD-ROM), [JSPE], 東洋大学白山キャンパス, 文京区, 東京都, (2011.3.14), (3.14)

修士論文・卒業論文

修士論文

• 1. 大曽根渡: 電気・化学・機械複合加工によるナノ金型製造と転写加工への応用

  2. 小野真志: 半導体Siウェハの計測に関するディジタルフィルタの設計と開発 ―ウェーブレット変換によるノイズ除去―

  3. 小松崎正勝: マイクロEDMによる微細構造創成に関する研究

  4. 佐藤悠: 極薄シリコンウエハ加工技術に関する研究

  5. 高橋秀典: 単結晶Siウエハ完全表面創成技術に関する研究 ―高品位CMG砥石の開発―

  6. 三浦伸互: 機械・化学複合加工による軸対称曲面創成に関する研究

  7. 箭内善宇: 音響浮揚を用いた砥粒加工方式の考案および開発に関する研究

  8. 宋暁梅: Siウエハ仕上げ加工に及ぼす前加工の影響に関する研究

卒業論文

• 1. 稲田智広: 音響浮揚を用いた円管内面砥粒加工法式の開発に関する研究

  2. 植田陽大: マイクロ流路デバイス用レーザー流速計の開発

  3. 蛯名雄太郎: ダイヤモンド砥石によるサファイアウエハの研削加工技術に関する研究

  4. 神原操: マイクロ放電加工における除去メカニズムに関する基礎研究

  5. 高木直人: 分光計測による薄片化シリコンウエハ厚み計測技術の開発

  6. 中村一樹: サボニウス小型風力発電機の設計に関する研究

  7. 野口秀崇: 自由曲面の3次元機上計測に関する研究

新聞・雑誌・受賞

特許