2002年度
(2002.4~2003.3)
研究論文
周 立波, 河合真二, 本田将之, 清水 淳, 江田 弘, 焼田和明: SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究
江田 弘, 中野博民, 近藤 良, 周 立波, 森 輝夫, 清水 淳: 大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発―φ300mmSiウエハ超加工機械の中核技術―
周 立波, 福田勇夫, 清水 淳, 江田 弘, 加藤明彦, 谷山久法: 熱・電・磁場附加による工具改質に関する研究
H. Taniyama, H. Eda, L.. Zhou, J. Shimizu and J. Stato: Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel ?Plastic Flow Mechanism of Ferrite and Cementite Phase-
L. Zhou, Y. Yaguchi, T. Fujii, J. Sjimizu, H. Eda: Development of Multifunctional Micro-Machining Sys-tem and Applications
J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda: Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material
L. Zhou, J. Shimizu and Eda: State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-stop Finishing of 300mm Si Wafer
J. shimizu, L. Zhou and H. Eda: Molecular Dynamics Simulation of the Contact Process in AFM Surface Observations
国際会議
L. Zhou, J. Shimizu and Eda: State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-stop Finishing of 300mm Si Wafer
J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda: Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material
J. shimizu, L. Zhou and H. Eda: Molecular Dynamics Simulation of the Contact Process in AFM/FFM Surface Observations
H. Taniyama, H. Eda, J. Sato, J. Shimizu and L. Zhou: Crystal Dependence in Micro Scratching of Carbon Steel ?Groove Formation on Pearlite-
L. Zhou, J. Shimizu, K. Shinohara: 3D Kinematical Analysis of Large Scale Substrate Surface Grinding
著書および解説
Hiroshi Eda and Libo Zhou: Giant Magnetostrictive Material
江田 弘: 加工技術データファイル(基礎編,研削研磨加工)
江田 弘, 周 立波; 磁歪、磁歪アクチュエータ、超精密位置決め・アライメントシステム
江田 弘: ものづくり機会の原理
江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 山本武幸: [研究室紹介]茨城大学工学部システム工学科Micro Machining and Fabrication Laboratory
周 立波, 厨川常元:アメリカにおけるM4の動向
周 立波, 吉田雄二, 江田 弘: Chemo-Mechanical-Grinding
口頭発表
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: アルミニウムの塑性伝播速度域における研削加工
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析―プローブ先端形状による影響―
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析―プローブが平坦な場合―
飯塚博康, 周 立波, 江田 弘: 姿勢制御機構による大型光学素子の三次元表面創成
西田圭佑, 斎藤浩之 ,周 立波, 江田 弘, 川上辰男, 太田一史: マイクロ素子部品の微小超精密加工機械の創作
本田将之, 斎藤浩之, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘, 太田裕之: X線回折を用いたシリコンウエハの研削ダメージ評価法の検討
周 立波, 江田 弘, 飯田克彦: Meso-Micro 域における機械加工技術の開発
佐藤潤一, 谷山久法, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 鉄鋼材料のマイクロ機械加工における結晶依存症
周 立波, 河合真二, 清水 淳, 江田 弘, 木村俊一郎: CMGに関する研究
斎藤浩之, 太田一史, 周 立波, 江田 弘, 川上辰男: 顕微鏡下における細胞操作用自動マイクロマニピュレーションシステムの解説
谷山雄介, 矢口雄太, 江田 弘, 周 立波: マイクロメカニカルマシニングに関する研究
田中秀和, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: 超高加速・振動切削加工の分子動力学シミュレーション
西田圭介, 斎藤浩之, 周 立波, 江田 弘, 川上辰男, 太田一史: SEM内マイクロ旋盤の設計及び製作
熊谷雄介, 矢口雄太, 周 立波, 江田 弘, 関 和雅: 多機能マイクロマシニングシステムによる非球面レンズ金型の創成
栗原勇司, 佐藤潤一, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 谷山久法: 鉄鋼材料のマイクロマシニングにおける結晶依存性の解明
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 摩擦力顕微鏡による原子摩擦過程の分子動力学シミュレーション
田中秀和, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘, 佐藤安紀:アルミニウムの塑性伝播速度領域における研削加工の分子動力学シミュレーション
清水 淳, 周 立波, 江田 弘, 佐々木新: AFMによるすべり摩擦過程のシミュレーション -カンチレバの剛性による影響―
清水 淳, 谷山久法, 中沢由加里, 周 立波, 江田 弘, 佐藤潤一 :鋼の微小引っかきにおける結晶依存性
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: AFMによるすべり摩擦過程のシミュレーション -プローブ先端形状によう影響―
周 立波, 清水 淳, 江田 弘, 飯塚博康: インフィード研削による大口径Siウエハの平坦化
小林美穂, 飯塚博康, 百瀬義広, 周 立波, 江田 弘, 太田裕之: TPPE法を用いたSi基板加工表面の評価方法の開発
河合真二, 周 立波, 清水 淳, 木村俊一郎, 江田 弘: Chemo-Mechanical Grinding に関する研究―第2報:スクラッチ評価―
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 塑性伝播速度域における研削加工のシミュレーションと実験
谷山久法, 江田 弘, 清水 淳, 周 立波, 佐藤潤一: 微小引っかきにおける鋼中結晶の影響
谷山久法, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 中沢 由加里, 佐藤潤一: 鋼のマイクロ引っかき実験におよぼす金属組織の影響
修士論文・卒業論文
修士論文
河合真二: シリコンウエハのChemo-Mechanical Grinding に関する研究
齊藤浩之: 顕微鏡下用細胞マニピュレーションシステムの開発に関する研究
本田将之: 大口径Siウエハの加工とその評価法に関する研究
卒業論文
飯塚 博康: 姿勢制御機構による大型光学素子の三次元表面創成
熊谷 雄介: マイクロメカニカルマシニングに関する研究
栗原 勇司: 単結晶シリコンの引っかきによる転位生成条件に関する研究
田中 秀和: 超高加速度・振動切削加工の分子動力学シミュレーション
西田 圭祐: マイクロ素子部品の超精密加工機械の創作
山本 貴則: 研磨剤自己装着型Si基板のCMPによる超平坦化プロセスに関する研究
新聞・雑誌・受賞
特許