2016年度

(2016.4～2017.3)

研究論文

（精密工学会誌）

• 1. 金属のねじり変形に及ぼす圧縮静水圧応力の影響 ― 分子動力学による解析 ― 植崎圭人, 清水 淳, 周 立波

（日本機械学会論文集C編）

• 1. 定在波音場を用いた産業廃棄物分別方法の開発 稲田智広, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳

（トライボロジスト）

• 1. ナノ接触実験結果と酸化膜の影響を考慮したすべり摩擦の分子動力学シミュレーション 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和

国際会議

（euspen's 16th International Conference & Exhibition）

• 1. Texturing of metal surface by using vibration-assisted microcutting Jun Shimizu, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou

（Ceramics Transactions）

• 1. Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima

（The 19th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2016)）

• 1. Theoretical analysis on effects of grain size variation Libo Zhou, Yutaro Ebina, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima

（The 16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)）

• 1. Study on micro EDM deposition in Ar atmosphere Itaru Takahama, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima

  2. Stress analysis of LT wafer during grinding process Wentong Lu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto

  3. Stability investigation of laser ablation micromachining on ferroelectric lithium niobate substrates Kazuki Kamoshida, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou

  4. Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements Teppei Onuki, Yuki Nemoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou

著書および解説

（機械技術）

• 1. 固定砥粒による無歪み研削（CMG）技術とシリコンウエハの薄片化加工 周 立波

口頭発表

（第17回高エネ研メカ・ワークショップ）

• 1. CFRP の穴あけ加工技術の開発 會田和樹, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平

  2. アルゴンガス中におけるマイクロ放電堆積に関する研究 高濱 到, 山本武幸, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆

（第24回茨城講演会）

• 1. 振動援用切削によるサブミクロンスケールの表面テクスチャ加工 小島純弥, 渡辺康太, 山本武幸, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆

（2016年度砥粒加工学会(ABTEC)）

• 1. 研削シリコンウエハのナノ引っかき 清水 淳, 林 旺票, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸

  2. 砥粒径のばらつきが研削面粗さに与える影響 蛯名雄太郎, 前崎智博, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆，乾 正知

（2016年度精密工学会秋季大会）

• 1. ハイブリッド送り機構を用いたCFRP加工技術の開発 會田和樹, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 山本武幸

  2. 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究（第3報） 小貫哲平, 小林悠太, 蛯名雄太郎, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波

  3. Cu-W電極を用いた微小放電堆積加工 高濱 到, 石井雅人, 山本武幸, 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆

  4. レーザ微細加工における不規則加工誤差の要因調査 鴨志田和樹, 小貫哲平, 田邉大輝, 登坂孝弘, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波

  5. ステレオ法を用いた研削砥石作業面の機上3次元計測システムに関する研究 尾嶌裕隆, 小松崎一気, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平

  6. LTウエハ研削プロセスにおける応力計算 陸 文通, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸

  7. ダイヤモンド砥石によるサファイアウエハの研削加工技術に関する研究 山崎直樹, 菅野 直, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 金安 充

  8. 定在波音場を用いた産業廃棄物分別方法の開発 染谷瑠実, 稲田智広, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平

（日本機械学会2016年度年次大会）

• 1. 透明微細立体形状創成のための形状計測 （非平面透明体レーザ微細加工焦点合わせのための形状計測） 小貫哲平, 樋口雅人, 薄憲司郎, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波

（トライボロジー会議2016秋）

• 1. 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討 ― ナノインデント試験を用いた二固体間ポテンシャル関数の導出 ― 清水 淳, 周 立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和

（第11回生産加工・工作機械部門講演会）

• 1. 研削砥石作業面トポグラフィのステレオ視法援用機上3次元計測システムに関する研究 尾嶌裕隆, 小松崎一気, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平

（2017年度精密工学会春季大会）

• 1. 局所圧縮静水圧援用切削の開発 ― 微小切削実験と分子動力学解析 ― 清水 淳, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周 立波, 市村浩貴

  2. 砥粒径のばらつきが研削面粗さに与える影響に関するシミュレーション解析 前崎智博, 蛯名雄太郎, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 乾 正知

  3. 単結晶サファイアウエハの脆性-延性モード研削の評価に関する研究 菅野 直, 山崎直樹, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 金安 充

（2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会）

• 1. 光厚さ計における干渉縞計測異常の系統判別 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 周 立波

修士論文・卒業論文

修士論文

• 1. ハイブリッド送り機構とCFRP穴あけ加工技術の開発 會田和樹

  2. 放電堆積による三次元微小構造の創成に関する研究 高濱 到

  3. ダイヤモンド砥石によるサファイアウエハの研削加工技術に関する研究 山崎直樹

  4. 亜鉛－ダイヤモンド間のすべり摩擦過程の微視的解析 馬 海東

卒業論文

• 1. 研削加工プロセスに与える研削パラメータの影響に関する研究 安達利貴

  2. 異種金属間の微小放電堆積加工に関する研究 石井雅人

  3. 転がり要素を用いた局所静水圧支援型切削の開発 市村浩貴

  4. 振動援用切削によるサブミクロンスケールテクスチャ加工 小島純弥

  5. 研削加工条件がナノトポグラフィに与える影響に関する研究 小室達哉

  6. ウェハ厚さ測定精度に対する光学系アライメントの影響 小林悠太

  7. ステレオ法3次元計測システムの高精度化のためのミスマッチングの解明に関する研究 小松崎一気

  8. 単結晶サファイアウエハの脆性-延性モード研削の評価に関する研究 菅野 直

  9. 定在波音場を用いた微粒子の分級方法の開発 染谷瑠実

  10. 光計測による残留応力分布の評価 田邉大輝

  11. 透明微小立体構造の形状計測技術 登坂孝弘

  12. 砥粒径のばらつきが研削面粗さに与える影響に関する研究 前崎智博

  13. ダイヤモンド-アルミニウム間のナノトライボロジーに関する研究 渡邉章嗣

新聞・雑誌・受賞

特許