2005年度

(2005.4～2006.3)

研究論文

• 1. 周 立波, 清水 淳, 江田 弘, 木村俊一郎: SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究―第２報：固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成―, 精密工学会誌, 71, 4 (2005.4) pp.466-470

  2. L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda: A Novel Fixed Abrasive Process: Chemo-Mechanical Grinding Technology, Int. J. Manufacturing Technology and Management, 7, 5/6 (2005.9) pp.441-454

  3. L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda: Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarisation (Integrated Model for Simulation of Planarisation Process), Int. J. Manufacturing Technology and Management, 7, 5/6 (2005.9) pp.490-503

  4. 周 立波，戸井田勲，清水 淳，江田 弘：電気泳動法によるCMG 砥石の開発とその性能評価, 砥粒加工学会誌, 50, 3 (2006.3) pp.130-133

国際会議

• 1. J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda: Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation: Book of Synopses, Int. Tribology Conf. (ITC2005), Kobe, Japan, (2005.5.29-6.2) p.349

  2. H. Okubo, L. Zhou, J. Shimizu, H. Eda: Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Improvements in accuracy of simulation model), Proc. of the 1st Int. Student Conf. at Ibaraki Univ., Ibaraki, Japan, (2005.7.14) pp.159-164

  3. K. Saito, H. Ojima, L. Zhou, H. Eda: Development of Visually Guided Micro Lathes, Proc. of the 1st Int. Student Conf. at Ibaraki Univ., Ibaraki, Japan, (2005.7.14) pp.165-168

  4. T. Itai, J. Shimizu, E. Ohmura, Y. Kobayashi, S. Kiyoshima, H. Eda: Molecular Dynamics Simulation on Splat Formation by a High-Temperature, High-Speed Droplet, Proc. of the 1st Int. Student Conf. at Ibaraki Univ., Ibaraki, Japan, (2005.7.14) pp.169-172

  5. Jun Shimizu, Hidekazu Tanaka, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Analysis on Vibration Assisted Cutting - Effect of Vibration Parameters -, Proc. of the Int. Conf. on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Nagoya, Japan, (2005.10.21) pp.861-864

  6. Hitomi Okubo, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Improvements in accuracy of simulation model), Proc. of the Int. Conf. on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Nagoya, Japan, (2005.10.21) pp.883-888

  7. Libo Zhou, Yusuke Kumagai, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process (Surface and Sub-surface Analysis of Si Wafer Produced by CMG), Proc. of the Int. Conf. on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Nagoya, Japan, (2005.10.21) pp.889-892

  8. Katsuhiro Saito, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Development of a Vision Guided Micro Lathe, Proc. of the Int. Conf. on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Nagoya, Japan, (2005.10.22) pp.1229-1234

著書および解説

• 1. 江田 弘: 第4章第4節「非球面レンズのためのダメージフリー加工技術」pp.102-118, "高精度切削・研削・研磨、精密成形による非球面レンズの加工技術と評価", (2005.8)

  2. 高橋裕和, 江田 弘, 清水 淳: 材料加工層－分析と評価法－, 機械の研究, 58, 1(2006.1) pp.17-24

口頭発表

• 1. 大山雄二郎, 周 立波, 尾嶌裕隆, 仇 中軍, 石川友彦, 川上辰男, 江田 弘: 卵細胞操作用マイクロマニピュレーションシステムの開発～視覚情報をベースとした軌道制御の実現～, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.207-208

  2. 山本武幸, 萩谷淳史, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘: 超短パルスレーザーによるSiウエハ割断法の基礎研究, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.209-210

  3. 西山 保, 山本武幸, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘: 離散データに基づくマイクロ加工に関する研究, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.211-212

  4. 張替杏子, 大久保瞳, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: Chemo-Mechanical-Grindingによるパターンウエハの平坦化に関する研究, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.217-218

  5. バーマンソルタニ, 敦賀達也, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 電気泳動法によるCMG砥石の開発のその性能評価, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.219-220

  6. 石崎勝彦, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 超高周波微小切削に関する研究, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.221-222

  7. 津村貴史, 岡部秀光, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきに関する研究―ダイヤモンド砥粒による検討―, 2005年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, (2005.9.9) pp.223-224

  8. 清水 淳, 岡部秀光, 津村貴史, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘: AFMによるSiウエハのナノ引っかき実験―ダイヤモンド砥粒による検討―, 2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2005.9.15) pp.201-202

  9. 仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘, 今井 亨, 松本健一, 山田昌隆: 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発, 2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2005.9.15) pp.1135-1136

  10. 尾嶌裕隆, 齊藤勝弘, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 画像フィードバックを用いたマイクロ加工機の開発, 2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (2005.9.17) pp.75-76

  11. 清水 淳, 周 立波,江 田 弘: 振動援用切削の分子動力学シミュレーション, 2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2005.9.28) pp.141-142

  12. 大久保瞳, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: パターンウエハの平坦化シミュレーション(第2報: モデルの精度向上), 2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2005.9.28) pp.143-144

  13. 周 立波, 戸井田勲, 清水 淳, 江田 弘: 電気泳動法によるCMG砥石の開発とその性能評価, 2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2005.9.28) pp.145-146

  14. 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: すべりによる金属のゼロ磨耗―磨耗遷移領域の分子動力学解析, 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集, (2005.11.16-18) pp.365-366

  15. 大塚春樹, 仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘: ダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発～ライブ画像を用いた切れ刃形状の検出及び創成制御～, 関東学生会第45回学生員卒業研究発表講演前刷集, (2006.3.10) pp.339-340

  16. 敦賀達也, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: Siウエハの薄片化に関する研究, 関東学生会第45回学生員卒業研究発表講演前刷集, (2006.3.10) pp.341-342

  17. バーマン ソルタニ ホセイニ, 周 立波, 清水 淳, 尾嶌裕隆, 江田 弘: On-Machine 3D形状計測システムの開発, 関東学生会第45回学生員卒業研究発表講演前刷集, (2006.3.10) pp.367-368

  18. 尾嶌裕隆, 齊藤勝弘, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 画像情報援用マイクロ加工機の位置制御に関する研究, 日本機械学会関東支部第12期総会講演会講演論文集, (2006.3.11) pp.205-206

  19. 板井辰徳, 清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘: 高温高速液滴の衝突現象の分子動力学解析（第６報）, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2006.3.15) pp.263-264

  20. 岡部秀光, 津村貴史, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきに関する研究―大気・真空中による検討―, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2006.3.15) pp.267-268

  21. 清水 淳, 江田 弘, 周 立波: ナノトライボロジー現象の原子スケール押込み深さによる分類, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2006.3.15) pp.269-270

修士論文・卒業論文

修士論文

• 1. 板井辰徳: 高温高速液滴の偏平素過程の分子動力学シミュレーション

  2. 大久保瞳: パターンウエハの平坦化プロセスにおけるシミュレーション

  3. 齊藤勝弘: 画像フィードバック制御を用いたマイクロ旋盤の開発

卒業論文

• 1. 大塚春樹: ダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発－ライブ画像を用いた切れ刃形状の検出及び創成制御－

  2. 大山雄二郎: マイクロマニピュレーションの軌道制御に関する研究

  3. 楠原隆之: 超磁歪素子を用いたスピーカの振動解析に関する研究

  4. 佐藤 亮: EDMによる高アスペクト比微細深穴加工に関する研究

  5. 椎名剛志: フォトマスク用ガラスのCMG加工に関する研究

  6. 高村有典: 超磁歪を用いた振動圧入方式に関する研究

  7. 津村貴史: 大気・真空環境下におけるシリコンの微小加工メカニズムに関する研究

  8. 敦賀達也: Siウエハの薄片化に関する研究

  9. 西山 保: 離散データに基づくマイクロ加工に関する研究

  10. 萩谷淳史: 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究

  11. 張替杏子: CMGによるパターンウエハの平坦化に関する研究

  12. Bahman Soltani Hoseini: On-machine3D形状の計測システムの開発

新聞・雑誌・受賞

• 1. 「江田 弘: 茨城大学 ベンチャー成果報告会を開催」, 繋情報, 繋事務所 (2005.4)

  2. 「江田 弘: 部門功績賞を戴いて」, 日本機械学会 生産加工・工作機械部門ニュースレター、モノづくりの技術 (2005.4)

  3. 「江田 弘: ”感性と工学の融合”―21世紀の独創的研究開発と大学発ベンチャー企業の設立「茨城大学サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(SVBL)の現況と未来」」, 繋情報, 繋事務所 (2005.5)

  4. Libo Zhou, Jun Shimizu, Akihito Muroya, Hiroshi Eda: "Material removal mechanism beyond plastic wave propagation rate", Top cited articles from 2003 - 2004 -Precision Engineering- (2005.7)

  5. 江田 弘: 第1回精密工学会フェロー認定, 精密工学会, (2006.3)

特許