ナノ・マイクロファブリケーションと表面機能

Nano/Micro-fabrication & Sur. Func.

研究の背景とねらいは？

ミクロの世界では，諸々の物理現象に関して物体の体積(m3)よりも表面積(m2)の影響が支配的となります．寸法の減少に伴う欠陥密度の減少ゆえ，固体の強度は増します．さらに，光など電磁波長と同オーダの世界に相当します．世の中では，このようなミクロの世界特有の現象や特徴を機能として利用し，これまでに類をみないデバイスの発明や既存デバイスの改良を行っています．そのような背景のもと，本研究セクションでは，おもにナノ・マイクロ表面構造に着目し，ナノ・マイクロ表面加工と表面処理を駆使し，新機能の創出や既存デバイスの機能向上を目指し，日々研究（含企業共同研究）を行っています．さらに，機械加工や接触・摩擦・摩耗・潤滑（トライボロジー）に関連する基本現象を，ナノ・マイクロ加工装置による実機実験や，原子・分子シミュレーションを用いて根本的に明らかにする試みなども行っています．

研究プロジェクトの代表例

実験系

■超短パルスレーザ加工による損傷の少ない割断法（準備中）

■超短パルスレーザ加工によるダイヤモンド工具成形とテクスチャ創成（準備中）

■放電ミーリングによる三次元マイクロ構造の創成

■マイクロ表面テクスチャによる色素増感太陽電池の高性能化

■表面微細構造による光触媒機能の向上

■局所陽極酸化によるナノ凸構造の創成

■引っかきによるナノ溝構造の創成

■Siウエハ加工変質層が仕上げ加工に及ぼす影響

シミュレーション系

■局所静水圧切削の提案