2001年度

(2001.4～2002.3)

研究論文

• 1. 江田 弘，周 立波，中村博民，近藤 良，清水 淳，田島琢ニ: 大口径φ300mmSi ウエハ用超加工機械の開発，精密工学会

  2. 江田 弘，周 立波，守屋光永，川上辰男，石川友彦:電子顕微鏡内マイクロファブリケーションデバイスの技術開発，精密工学会

  3. 周 立波，篠原一宏，清水 淳，江田 弘:大口径シリコンウエハ研削加工における幾何と運動，精密工学会

  4. 周 立波，江田 弘，清水 淳，西村雅也，佐川克雄:電子・磁気・光学基板の脆性-延性モード統合仕上げ加工，砥粒加工学会

  5. 佐川克雄，江田 弘，周 立波，清水 淳:φ300Si ウエハ加工機構開発のための研削シミュレーション，砥粒加工学会

  6. H.Eda, L.Zhou, H.Nakano, R.Konda, J.Shimizu: Development of single Step Grinding System for Large Scale 300Si Water , CIRP

  7. H.eda, L.Zhou, Y.Yamamoto, T.Ishikawa, T.Kawakami and J.Shimizu: Development of Micro-manipulation for Operation in Scanning Electron Microscope, J.Manufacturing Science & Technology

  8. H.Eda, T.Mori. Y.Okada, L.Zhou and J.Shimizu: Powder Metallurgic Giant Magnetostriction Materials and Applocation in Space Structure, J.Manufacturing Science & Technology

  9. 周 立波，榎本眞三:生産技術におけるプロジェクトマネジメント-シンガポール国立研究所におけるケース・スタディー，プロジェクトマネジメント学会

国際会議

• 1. J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou, T.Asano and Y.Nakazawa: Microscopic Analysis of Friction Phenomena in Surface Observation by Atomic Force Microscope ,ITC2000

  2. J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou, A.Muroya and Y.Nakayama: Microscope analysis of Material deformation in Ultra High-Speed Grinding Process,ITC2000

  3. T.Fukuda, L.Zhou, J.Shimizu and H.Eda: Improvement of Insert Tool Performance with Electrircal / Magnetic Treatment, ISAAT2001

  4. S.Kawai, L.Zhou, J.Shimizu, and H.Eda: Research on CMG(Chemo-Mechanical Grinding),ISAAT2001

  5. J.Shimizu, L.Zhou and H.Eda: Molecular Dynamics Simulation of Superspeed Grinding of Ductile Material,TIWSSf2001

  6. J.Shimizu, H.Eda and L.Zhou: Molecular Dynamics Simulation of Surface Image by Atomic Force Microscope, TIWSSf2001

  7. H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu and M Ii: Development of Newly Conceptualized Hugh Water-Content Lubrication coolant, WTC2001

  8. J.Shimizu, L.Zhou, and H.Eda: Simulation Analysis of Contact Process in AFM surfaceObservation, WTC2001

  9. J.Shimizu, L.Zhou, A.MURORA and H.Eda: Simulation and Experimental Analysis of Abrasive Wear in Ultra High-Speed Grindings, WTC2001

  10. J.Shimizu, H.Eda and L.Zhou: Molecular dynamics Simulation on Dependence of Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon upon Probe Tip Shape, ICPE-10

  11. K.Sagawa, H.Eda, L.Zhou, and J.Shimizu: Simulation on High Integrity Surface Generation of 300 Si Water with Fixed-abrasive Solution, ICPE-10

著書および解説

口頭発表

• 1. 清水 淳，小林圭史，清島祥一，大村悦二:高温高速液滴の衝突現象の分子動力学解析(第2報)-Al基板へのAl液滴の衝突とパラメータの影響-，精密工学会

  2. 清水 淳，周 立波，江田 弘:原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析-反作用力像とプローブ先端の挙動-，精密工学会

  3. 篠原一宏，周 立波，清水 淳，江田 弘:大口径シリコンウエハ研削加工における幾何学形状創成に関する研究，精密工学会

  4. 河合真二，周 立波，清水 淳，江田 弘，吉田雄二，焼田和明:Chemo-Mechanical Grindingに関する研究-予備実験について-，精密工学会

  5. 本田将之，江田 弘，周 立波，清水 淳，大田裕之:Siウエハの研削加工ダメージの評価に関する研究，精密工学会

  6. 周 立波，清水 淳，精密工学会江田 弘:高速・高精度除去加工，精密工学会

  7. 清水 淳，中沢由加里，周 立波，江田 弘:鋼のマイクロマシニングに関する研究-パーライトの引っかき挙動-，精密工学会

  8. 清水 淳，周 立波，江田 弘:原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析-カンチレバの剛性が反作用力像に及ぼす影響-，精密工学会

  9. 周 立波，藤井 努，江田 弘，関 和雅:マイクロ多機能加工機械及びプロセスの開発，精密工学会

  10. 清水 淳，小林圭史，清島祥一，大村悦二:高温高速液滴の衝突現象の分子動力学解析(第3報)-Al液滴の偏平過程における原子移動-，精密工学会

  11. 清水 淳，中沢由加里，谷山久法，周 立波，江田 弘，佐藤潤一:鋼のマイクロマシニングに関する研究-塑性変形の結晶依存性-，精密工学会

  12. 江田 弘，山本佳男，岡田養二，周 立波，清水 淳，上野 哲:超磁歪を用いた制振デバイスの開発に関する研究，日本機会学会

  13. 宮本良司，佐藤義智，周 立波，清水 淳，江田 弘，飯田克彦:高ひずみ速度における加工メカニズムに関する研究，日本機会学会

  14. 藤井 努，周 立派，清水 淳，江田 弘，飯田克彦:複合型マイクロマシニングセンタの開発，日本機会学会

  15. 清水 淳，周 立波，江田 弘：原子間力顕微鏡による固体表面像の予測に関する研究，日本機会学会

  16. 中沢由加里，清水 淳，周 立波，江田 弘:鋼のマイクロマシニングに関する研究，日本機会学会

  17. 斎藤浩之，周 立波，江田 弘，川上辰男，石川友彦，太田一史:視・聴力を用いたマニピュレーション，日本機会学会

  18. 藤井 努，周 立波，江田 弘，関 和雅:マイクロ非球面レンズ金型の複合加工-電極消耗と形状精度-，日本機会学会

  19. 照井 充，福田勇夫，加藤明彦，藤城恒夫，周 立波，江田 弘:電場に酔う切削工具の改良，茨城講演会

  20. 小林美穂，本田将之，百瀬義弘，周 立波，江田 弘:Siウエハの切削表面の物性評価，茨城講演会

  21. 堀内一宏，斎藤浩之，周 立波，江田 弘，川上辰男，石川友彦:視覚情報を用いたマニピュレーション，茨城講演会

  22. 矢口雄太，周 立波，清水 淳，藤井 努，江田 弘，関 和雅:レーザマイクロマシニングシステムの開発，茨城講演会

  23. 清水 淳，周 立波，浦本和義，江田 弘:AFMによるすべり摩擦過程のシミュレーション-固体表面像とプローブの挙動-，日本トライボロジー学会

  24. 清水 淳，周 立波，江田 弘，佐々木新:AFMによるすべり摩擦過程のシミュレーション-試料表面原子の挙動-，日本トライボロジー学会

  25. 清水 淳，中沢由加里，江田 弘，周 立波:鋼のマイクロ加工に関する研究，日本トライボロジー学会

  26. 篠原一宏，周 立波，清水 淳，江田 弘:大口径シリコンウエハ研削加工における砥粒の運動幾何学，砥粒加工学会

  27. 河合真二，周 立波，清水 淳，吉田雄二，焼田和明，江田 弘:Chemo-Mechanical Grindingに関する研究-第一報 加工能率と表面粗さの評価-，砥粒加工学会

  28. 本田将之，江田 弘，周 立波，清水 淳，大田裕之:Siウエハの研削によるさーふぇスダメージの評価に関する研究，砥粒加工学会

  29. 佐川克夫，江田 弘，周 立波， 清水 淳:シリコンウエハの研削加工シミュレーションと加工装置，砥粒加工学会

博士論文・修士論文・卒業論文

博士論文

• 1. 佐川克雄: 300Siウエハ用加工機開発のための研削シミュレーションに関する研究

修士論文

• 1. 佐藤義智: 超塑性伝播速度における加工ひずみの低減に関する研究

  2. 篠原一宏: φ300Ｓｉウエハの加工プロセスに関する研究

  3. 中沢由加里: 鋼中結晶のマイクロ加工に関する研究

  4. 福田勇夫: 熱・電・磁場附加による工具機能の進化に関する研究

  5. 藤井 努: マイクロ多機能加工機の開発とその応用に関する研究

  6. 宮本良司: 超加速度加工による加工ひずみの低減に関する研究

卒業論文

• 1. 佐々木新: 原子間力顕微鏡による観察過程の分子動力学シミュレーション

  2. 佐藤潤一: 鋼中結晶のマイクロ加工に関する研究

  3. 佐藤安紀: 超塑性伝播速度加工の分子動力学シミュレーション

  4. 鈴木勝尋: 加工ひずみに対する加工速度の効果

  5. 照井 充: 切削工具に対する電場/磁場処理の効果に関する実験

  6. 新山 武: パターンウエハ用CMG砥石の開発と平坦化プロセスに関する研究

  7. 堀内一宏: SEM内マイクロ旋盤の開発に関する研究

  8. 矢口雄太: レーザマイクロ加工機械の開発とその応用に関する研究

新聞・雑誌・受賞

• 1. 江田 弘，周 立波，中野博民，近藤 良，清水 淳，田島琢ニ:学会賞

  2. 清水 淳:ベストプレゼンテーション賞

  3. 清水 淳:奨励賞

特許