2000年度
(2000.4~2001.3)
研究論文
清水 淳, 江田 弘, 大村 悦二: 宇宙研究下における飛しょう体鏡面劣化現象のシミュレーション(第1報)―損傷過程の原子挙動と損傷に及ぼす表面性状の影響―
L. Zhou, H. Huang, J. Shimizu and H. Eda: Automated Robotic System for Jet Engine Overhaul -Process Development and Enhancement for Honeycomb Repair-
M. Ii, H. Eda, T. Imai, M. Nishimara, T. Kawasaki, J. Shimizu, T. Yamamoto and L. Zhou: Development of High Water-Content Cutting Fluid with a New Concept Fire Prevention and Environmental Protection
K. Ramesh, S. H. Yeo, S. Gowri and L. Zhou: Experimental Evaluation of Super High-Speed Grinding of Advanced Ceramics
国際会議
H. Eda, L. Zhou and J. Shizu: Development of Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Materials and Their Applications
H. Eda, L. Zhou and J. Shizu: Development of One-Stop Mirror Finishing System for Electronic,Magnetic and Optical Components
H. Nakano, M. Kosuge, H. Eda, L. Zhou, J. Shizu and Y. Tomita: Novel positioning system usinga giant magnetostriction actuator for ultra precision and high power applications
H. Eda, L. Zhou, T. Ishikawa, T. Kawakami and Y. Yamamoto: Configuration and Performance of Micro-fabrication-Micromanipulation under ScanningElectron/Optical Microscope
L. Zhou, H. Eda, K. Watanabe, H. Nakano, R. Kondo and J. Shimizu: Development of One-Stop Machining System for 300mm Silicon Wafer
J. Shimizu, H. Eda, L. Zhou, A. Muroya and Y. Nakazawa: Microscopic Analysis of Material Deformation in Ultra High-Speed Grinding Process
J. Shimizu, H. Eda, L. Zhou, T. Asano and Y. Nakazawa: Microscopic Analysis of Friction Atomic force Microscope
L. Zhou, J. Shimizu, A. Murooya and H. Eda: Material Removal Ultrahigh Speed-Material Removal Mechanism Belowand and Beyond Plastic Propagation Speed-
H. Eda, L. Zhou, J. Shimizu and T. Mori: PM Technology in Giant Magnetostrictive Materials Manufacuring and Application Development
著書および解説
江田 弘: φ300Siウエハ超加工機械の開発―いばらき地域コンソーシアムの成果報告
江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 山本 武幸, 横瀬 宏之, 福田 勇夫, 奥山 経夫: ドライ環境における超音波振動切削
江田 弘, 清水 淳: 分子動力学による固体の摩擦・摩耗現象の解析
江田 弘, 周 立波: 超磁歪材料の動向
口頭発表
江田 弘: φ300Siウエハ超加工機械と中核技術開発
江田 弘, 松村 重兵衛: 国(NEDO)委託研究プロジェクトとしての取纏、管理
近藤 良, 中野博民, 江田 弘, 浅野健治: GMM適用精密アライメント装置の開発
岡田亮二, 石川篤志, 河野顕臣, 本間省三, 江田 弘: 超加工装置用クーラントおよびサーキュレーションシステムの開発
佐川克雄, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: シリコンウエハ表面創成シミュレーションに関する研究
周 立波, 江田 弘, 李 受人, 清水 淳, 篠原一宏, 小林美穂: φ300mmシリコンウエハの研削実
周 立波, 江田 弘,中野博民, 清水 淳:超磁歪アクチュエータによる巨大荷重精密位置決め装置
福田勇夫, 江田 弘, 周 立波, 加藤明彦, 藤城恒夫: 電場処理による工具性能改善に関する研究(第一報)―工具寿命についてー
佐藤義智, 周 立波, 清水 淳, 室屋昭仁, 井上邦幸, 江田 弘: 超高速・超精密加工に関する研究―塑性伝播速度領域における実験およびシミュレーション―
清水 淳, 周 立波, 浦本和義, 江田 弘: 原子間力顕微鏡による固体表面の分子動力学解析―スキャン方向および点欠陥による影響―
清水 淳, 小林圭史, 清島祥一, 森田全紀, 福本一郎, 大村悦二: 高温高速液滴の衝突現象の分子動力学解析(第一報)―Al基板へのAl液滴の衝突過程―
河合真二, 周 立波, 清水 淳, 佐川克雄, 江田 弘, 大場公道, 今井 享: Chemo-Mechanical Grindingに関する研究―固定砥粒によるケミカル作用の検証―
江田 弘: 大口径Siウエハの加工技術
佐川克雄, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: 研削粗さシミュレーションによるφ300シリコンウエハと砥粒の干渉について
篠原一宏, 周 立波, 江田 弘, 清水 淳,今井 享, 佐川克雄: Chemo-Mechanical Grindingに関する研究―φ300シリコンウエハへの適用―
中野博民, 小菅昌宏, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳,田島琢二, 渡部 和, 森 輝夫: 超磁歪アクチュエータによるオングストロームオーダ送りシステムの開発
周 立波, 江田 弘, 清水 淳, 中野博民, 近藤 良: φ300仕様シリコンウエハ超加工機械の開発
室屋昭仁, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 井上邦幸: 塑性伝播速度における材料の除去メカニズム
福田勇夫, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 横瀬宏之, 七字 誠, 篠原一宏: 超音波適用による加工表面品質の改善に関する研究
清水 淳, 江田 弘, 周 立波, 浅野哲也, 中沢由加里: 原子間力顕微鏡による表面観察過程のシミュレーション
江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 中沢由加里, 金子恭治: 鋼材料の微小引っかき実験
江田 弘, 周 立波, 清水 淳, 榮木 泰, 柴田亜一路: 超磁歪圧力センサの応用に関する研究
周 立波, 中野博民, 江田 弘: 超磁歪材料適用の超精密位置決め装置の開発とその性能評価
浦本和義, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 原子スケールのスティックスリップ現象の3次元解析
中沢由加里, 周 立波, 清水 淳, 金子恭治, 江田 弘: 鋼のマイクロトライボロジー
斎藤浩之, 石川友彦, 川上辰男, 守屋光永, 周 立波, 江田 弘: 顕微鏡環境下におけるマイクロファブリケーションデバイスの開発
本田将之, 周 立波, 清水 淳, 李 受人, 篠原一宏, 小林美穂, 江田 弘: φ300シリコンウエハの超精密研削加工
佐川克雄, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 超精密表面創生シミュレーションに関する研究
中村瑞穂, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 学生実験用デスクトップマニュファクチャリングシステムの開発
清水 淳, 江田 弘, 周 立波, 浅野哲也, 中沢由加里: AFMによるすべり摩擦過程のシミュレーション―銅(100)における2次元摩擦現象―
周 立波, 江田 弘, 清水 淳, 李 受人, 佐川克雄, 篠原一宏, 小林美穂: φ300Siウエハ研削加工実験
周 立波, 江田 弘, 清水 淳, 室屋昭仁: 超高速・超精密研削盤の開発に関する研究
修士論文・卒業論文
修士論文
榮木 泰: 超磁歪を用いたセンサの開発
室屋昭仁: 超精密・超高速加工機械の開発と加工機構に関する研究
守屋光永: 電顕内マクロマニュピュレータの視・力覚情報システム開発
横瀬宏之: 超音波振動切削に関する研究
卒業論文
井上邦幸: 分子動力学による超高速・超精密研削加工のシミュレーション
浦本和義: 分子動力学を用いた原子間力顕微鏡による固体表面像の解析
金子恭治: 鋼中結晶のマイクロ/ナノマシニングに関する研究
河合真二: Chemo-Mechanical Grindingに関する研究
齋藤浩之: 電子顕微鏡下における生物組織のマイクロプロセッシング
柴田亜一路: 超音波適用による鋼のダイヤモンド研削の可能性究明
野島秀哉: IT Based Micro/Nano Processing and Fabrication Technology
本田将之: 大口径シリコンウェハの加工および評価
新聞・雑誌・受賞
日刊工業新聞「3段階の作業一台で地域コンソーシアムチーム超加工機械を開発」
日刊工業新聞「(マニピュレーターシステム)産学官で共同開発」
日本産経新聞「顕微鏡下の作業精度向上」
特許