2007年度
(2007.4~2008.3)
研究論文
Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding - Influence of Tool Stiffness -, International Journal for Manufacturing Science & Technology (IJMST), 9, 1, (2007.4) pp.69-75
Libo Zhou, Bahman Soltani Hosseini, Tatsuya Tsuruga, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Yoshiaki Tashiro: Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer, International Journal of Abrasive Technology, 1,1 (2007.5) pp. 94-105
仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘, 今井 亨, 山田昌隆: 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発, 砥粒加工学会誌, 51, 5, (2007.5) pp.284-289
Y. Wang, J. Zou, H. Huang, L. Zhou, B.L. Wang Y.Q. Wu: Formation Mechanism of Nanocrystalline High-Pressure Phases in Silicon during Nanogrinding, Nanotechnology, Vol.18, 21, (2007.10) pp.465705
Jun Shimizu, Etsuji Ohmura, Yoshifumi Kobayashi, Shoichi Kiyoshima, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Simulation of Flattening Process of a High-Temperature, High-Speed Droplet - Influence of Impact Parameters, Journal of Thermal Spray Technology, Vol.16, No.5-6 (2007.12) pp.722-728
国際会議
Jun Shimizu, Etsuji Ohmura, Yoshifumi Kobayashi, Shoichi Kiyoshima, Hiroshi Eda : Molecular Dynamics Simulation of Flattening Process of a High-Temperature, High-Speed Droplet: Influence of Impact Parameters, Proceedings of the 2007 International Thermal Spray Conference (ITSC 2007), China, (2007.5) pp.230-235
Haruki Otsuka, Yukihiro Murakami, Zhoungjun. Qiu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda:3D Data Acquisition and Configuration by Means of Binocular Stereopsis, Proceedings of the 35th International MATADOR Conference, [National Taiwan Univesity, The University of Manchester, Shanghai Jiao Tong University], National Taiwan University, Taipei, Taiwan, (2007.7.18-20) pp.393-396
Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Molecular Dynamics Simulation of AFM/FFM Surface Observation: Influence of Probe Tip Shape, Proceedings of the 35th International MATADOR Conference, [National Taiwan Univesity, The University of Manchester, Shanghai Jiao Tong University], National Taiwan University, Taipei, Taiwan, (2007.7.18-20) pp.271-274
Jun Shimizu, Hidemitsu Okabe, Takashi Tsumura, Yumetaka Suehisa, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Simulation and Experimental Study on Nanoscratching of Silicon Wafer, Proceedings of the 3rd International Conference on Tribology in Manufacturing Process, 3rd International Conference on Tribology in Manufacturing Process(ICTMP 2007), [], Yokohama, Japan, (2007.9.24-26) pp.307-310
Tasuya Tsuruga, Bahman Soltani Hosseini, Jun'ichi Sasaki, Takahito Mitsuta, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Study on Thinning Process of Large Size Silicon Wafer, Precision Grinding and Abrasive Technology at SME International Grinding Conference, International Symposium on Advances in Abrasive Technology(ISAAT 2007), [SME(Society of Manufacturing Engineers)], Dearborn, USA, (2007.9.26-28) pp.67-72
Takahito Mitsuta, Bahman Soltani Hosseini, Tatsuya Turuga, Jun'ichi Sasaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Development of On-Machine 3D Measuring System for Large Size Si Wafer Thinning Process, Precision Grinding and Abrasive Technology at SME International Grinding Conference, International Symposium on Advances in Abrasive Technology(ISAAT 2007), [SME], Dearborn, USA, (2007.9.26-28) pp.75-80
Takeshi Shiina, Libo Zhou, Zhongjun Qiu, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of large size silica glass substrate, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME(The Japan Society of Mechanical Engineers)], Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan, (2007.11.7-9) pp.65-68
Yoshiaki Tashiro, Masaaki Kenmochi, Bahman Soltani Hosseini, Tatsuya Tsuruga, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan, (2007.11.7-9) pp.69-72
Jun Shimizu, Takashi Tsumura, Yumetaka Suehisa, Libo Zhou, Hiroshi Eda: Study on Nanomachining Process of Si Wafer using an Atomic Force Microscope, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan, (2007.11.7-9) pp.153-156
Hirotaka Ojima, Hiroyuki Asano, Genki Shimizu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Study on Path Control Scheme for Vision Guided Micro Manipulation System, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan, (2007.11.7-9) pp.605-608
Atsushi Hagiya, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda: Fundamental Study on Cleavage-Cutting of Silicon Wafer by Ultra-Short Pulsed Laser, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), [JSME], Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan, (2007.11.7-9), (11.9) pp.879-882
Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Keisuke Kishita, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Yuji Yoshida: Study on Reaction Mechanism of Si and pure CeO2 for Chemical-mechanical-Grinding(CMG) Process, The 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008), Singapore, (2008.7.14-16) pp.1-6
著書および解説
江田 弘,周 立波, 清水 淳: 塑性ひずみ軽減加工とφ300Siウエハ完全表面創成加工の評価, 月刊トライボロジー, (2007.3) pp.56-58
江田 弘, 清水 淳: 工作機械・生産加工の世界の歩み, 月刊トライボロジー, (2008.3)
口頭発表
清水 淳, 江田 弘, 周 立波: 分子動力学シミュレーションによる摩擦異方性の微視的解析, 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(東京 2007-5) pp.325-326(国立オリンピック記念青少年総合センター)
佐々木淳一, 光田孝仁, 敦賀達也, ソルタニ・ホセイニ・バーマン, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: CMG加工の加工能率に関する研究, 2007年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2007)講演論文集, [JSAT(砥粒加工学会)], 東京工業大学, 東京都, (2007.9.5-7) pp.145-146
ソルタニ・ホセイニ・バーマン, 光田孝仁, 佐々木淳一, 敦賀達也, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 大口径Siウェハ加工プロセスの評価技術に関する研究, 2007年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2007)講演論文集, [JSAT], 東京工業大学, 東京都, (2007.9.5-7), (9.5) pp.147-148
周 立波, 清水 淳, 江田 弘, Han Huang: 研削加工におけるSiウエハの構造変化, 2007年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2007)講演論文集, [JSAT], 東京工業大学, 東京都, (2007.9.5-7), (9.5) pp.149-150
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 工具剛性がナノ研削に及ぼす影響の分子動力学シミュレーション, 2007年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2007)講演論文集, [JSAT], 東京工業大学, 東京都, (2007.9.5-7), (9.5) pp.335-336
陶久夢高, 青木俊暁, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: SPMによるナノ構造の創成に関する研究―加工パラメータの陽極酸化パターンに及ぼす影響―, 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, [JSPE(精密工学会)], 旭川市ときわ市民ホール, 旭川市, 北海道, (2007.9.12-14), (9.12) pp.845-846
清水 淳, 岡部秀光, 周 立波, 江田 弘: ポテンシャルパラメータ制御を施したシリコンウエハ研削の分子動力学シミュレーション―シミュレーションモデルの提案―, 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 旭川市ときわ市民ホール, 旭川市, 北海道, (2007.9.12-14), (9.13) pp.207-208
川瀬大智, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 金型の微細加工に関する研究, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME(日本機械学会)関東支部, JSPE(精密工学会)], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.59-60
土屋大基, 椎名剛志, 周 立波, 山本武幸, 清水 淳, 江田 弘: 石英ガラスのCMG加工に関する研究, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.63-64
笹本侑弥, 大塚春樹, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 江田 弘: ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.65-66
溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.67-68
青木俊暁, 陶久夢高, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: プローブ陽極酸化を用いたSi基板上のナノ構造の創成に関する研究, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.69-70
梓沢慶介, 石井勇多, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: TiO2膜の基本特性に関する研究, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.71-72
津村貴史, 大谷健太郎, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: Siウエハのナノ引っかきによるナノ構造創成の検討, 2007年度日本機械学会関東支部・精密工学会共催茨城講演会講演論文集, [JSME関東支部, JSPE], 茨城大学, 日立市, 茨城県, (2007.9.28) pp.73-74
溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 超短パルスレーザによる単結晶ダイヤモンド加工に関する研究, 2008年度精密工学会春季大会 15回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集, [JSPE], 明治大学生田キャンパス, 川崎市, 神奈川県, (2008.3.17-19) pp.99-100
梓沢慶介, 石井勇多, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 光触媒膜に関する基礎的研究―表面性状の影響―, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 明治大学生田キャンパス, 川崎市, 神奈川県, (2008.3.17-19) pp.817-818
清水 淳, 周 立波, 江田 弘: 化学作用を模擬したシリコンウエハ研削・研磨加工の分子動力学シミュレーション, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 明治大学生田キャンパス, 川崎市, 神奈川県, (2008.3.17-19) pp.1031-1032
大塚春樹, 笹本侑弥, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: ステレオ法による三次元計測および形状データ構築, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 明治大学生田キャンパス, 川崎市, 神奈川県, (2008.3.17-19) pp.679-680
尾嶌裕隆, 土屋大基, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘: 細胞操作用マイクロマニピュレータの最適経路生成に関する研究, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, [JSPE], 明治大学生田キャンパス, 川崎市, 神奈川県, (2008.3.17-19) pp.785-786
修士論文・卒業論文
修士論文
大塚春樹: ステレオ法による3次元計測および形状データ構築に関する研究
楠原隆之: 超磁歪素子を用いたアプリケーションに関する研究 低背型スピーカと地圧センサの開発
椎名剛志: 高機能材料のCMG(Chemo-Mechanical-Grinding)加工に関する研究
津村貴史: ナノスクラッチによる単結晶シリコンの研削メカニズムの解析
敦賀達也: CMG(Chemo Mechanical Grinding)による大口径シリコンウエハの薄片化加工技術に関する研究-高能率CMG砥石の開発-
萩谷淳史: 超短パルスレーザによるシリコンウエハ割断法に関する研究
Bahman Soltani Hoseini: 大口径Siウェハ加工品質の評価技術に関する研究
卒業論文
青木俊暁: 局所陽極酸化によるナノ構造の創成に関する研究
石井勇多: 表面性状の光触媒機能に及ぼす影響に関する研究
大谷健太郎: 引っかきによるナノ構造の創成に関する研究
川瀬大智: 多結晶Si工具の開発に関する研究
笹本侑弥: ステレオ法による三次元形状計測に関する研究
土屋大基: 細胞操作用マイクロマニピュレータの最適経路生成に関する研究
水野芳幸: 多結晶SiCのCMG加工に関する研究
溝口高史: 超短パルスレーザによる単結晶ダイヤモンド加工に関する研究
新聞・雑誌・受賞
岡部秀光: マザック財団 平成18年度(2006年度)優秀論文表彰, (2007.6)
特許