㈱実用技術研究室
超短パルスレーザー応用、レーザー微細加工、技術コンサルティング
レーザー加工および加工技術の 講座・講習 (webinar)
"μ-3D" (アブレーション) 加工技術
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微細加工や非熱的加工を目指して，超短パルスレーザー加工が検討されています。試してみたけれど，スループットが低く実用には程遠い，期待した程には熱影響が低減されていない...と，導入を躊躇われたり，導入したが実用展開できずに苦労されているところが多いようです。
穏やかでゆっくりとした加工条件を用いれば，熱影響の見られない高品質の微細加工結果が得られます。多くは，スループットを高めるために激しい加工条件を用いた結果，非熱加工とは思えないほどに変色や溶融等の熱影響が現れたと云う経験をされています。これを，...非熱的な加工を目指して加工試験を始めたが，検討を重ねるうちに，熱的な加工になってしまっていた...，と適切に理解されている方は少ないようです。最も多い誤解は，「超短パルスレーザーを用いれば，熱影響は現れない」でしょう。条件が適切でなければ，超短パルスレーザーを用いても加工熱が発生します。加工点から熱が効果的に排除されなければ，やがて加工点は溶融し，超短パルスレーザーを用いた熱加工の状態に移行します。限度を超えた激しい条件を用いた加工では，熱影響が現れて当然です。
超短パルスレーザーを用いた直接微細加工を諦める前に，適切な機器構成・最適な加工条件でもう一度検討されることをお勧めします。そのために先ず，
レーザー直接微細加工の適用範囲
アブレーションとは何か
最も重要なパラメータであるパルスフルエンス
デブリスとは何か，どのように加工に影響するか
を理解することが必要です。弊社の webinar 「"μ-3D" (アブレーション) 加工の概要」では，特にアスペクト比の低い微細形状の広い面積への加工，所謂 μ-3D 加工，の実施に先立ち用意すべき知識・理解を解説します。高アスペクト比形状は，非常に難易度が高い加工です。先に，素直に理解できる低アペクト比加工について一通りを理解され，その上で取り組まれるのが効果的です。
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