Motorized stages XY-axis linear ball cave-x positioner, Suruga-seiki (自動XY軸リニアボール,駿河精機)(XYCV620-G-N)
Motorized stages Z-axis linear ball cave-x positioner, Suruga-seiki (自動Z軸リニアボール,駿河精機)(ZCV620-G-N)
Control instruments for motorized stages , Misumi (自動ステージ用コントローラ,ミスミ,MSCTL102-MS)
精密電動リニアアクチュエータ(T-NA08A25-KT04U)(2021/12/10 設置済み)
精密電動リニアアクチュエータ操作マニュアル (2021/12/14 作成)