Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo
2004年度
学術誌 (Journal)
N. Sugiyama, T. Tezuka, T. Mizuno, M. Suzuki, Y. Ishikawa, N. Shibata and S. Takagi, “Temperature Effects on Ge Condensation by Thermal Oxidation of SiGe-on-insulator Structures”, J. Appl. Phys., Vol. 95, Issue. 8, 15 April (2004) pp. 4007–4011
T. Numata, M. Noguchi and S. Takagi, “Reduction in Threshold Voltage Fluctuation in Fully-Depleted SOI MOSFETs with Back Gate Control”, Solid-State Electronics, Volume 48, Issue 6 (2004) 979-984
T. Tezuka, N. Sugiyama, T. Mizuno, S. Nakaharai and S. Takagi, “Fabrication of SiGe-On-Insulator Substrates for High-Performance Strained SOI-MOSFETs by Ge-Condensation Technique”, Proceeding of ECS, PV 2003-14, “Advanced Short-Time Thermal Processing for Si-Based CMOS Devices”, (ECS Meeting, Paris, France (Spring 2003)), p. 305-314
J. Koga, T. Ishihara and S. Takagi, “Quantitative Examination of Mobility Lowering Associated with Ultrathin Gate Oxides in Silicon Metal-Oxide-Semiconductor Inversion Layer”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, No. 4B (2004) pp.1699-1703
T. Mizuno, N. Sugiyama, T. Tezuka, T. Numata and S. Takagi, “Thin-film strained-SOI CMOS devices: physical mechanisms for reduction of carrier mobility”, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 51, No. 7 (2004) pp. 1114-1121
T. Maeda, T. Yasuda, M. Nishizawa, N. Miyata, Y. Morita, and S. Takagi, "Ge-MIS structures with Ge3N4 dielectrics by direct nitridation of Ge substrates", Appl. Phys. Lett., Vol. 85, Issue 15 (2004) pp. 3181-3183
T. Numata and S. Takagi, “Device Design for Subthreshold Slope and Threshold Voltage Control in Sub-100 nm Fully-Depleted SOI MOSFETs”, IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 51, Issue. 12, Dec. (2004) pp. 2161 - 2167
T. Maeda, K. Ikeda, S. Nakaharai, T. Tezuka, N. Sugiyama, Y. Moriyama and S. Takagi, “High Mobility Ge-on-insulator p-Channel MOSFETs Using Pt Germanide Schottky Source/ Drain”, IEEE Electron Device Letters, vol. 26, Issue. 2 (2005) pp. 102-104
N. Sugiyama, N. Hirashita, T. Mizuno, Y. Moriyama and S. Takagi, “Analysis of Growth Rate during Si Epitaxy by Hydrogen Coverage Model”, Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 8, Issues 1-3 (2005) p. 11-14
K. Usuda, T. Numata and S. Takagi, “Strain evaluation of strained-Si layers on SiGe by the nano-beam electron diffraction (NBD) method”, Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 8, Issues 1-3 (2005) p. 155-159
T. Mizuno, N. Sugiyama, T. Tezuka, Y. Moriyama, S. Nakaharai, T. Maeda, and S. Takagi, “High Performance (110)-Surface Strained-SOI MOSFETs“, Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 8, Issues 1-3 (2005) p. 327-336
T. Sekitani, Y. Kato, S. Iba, H. Shinaoka, T. Someya, T. Sakurai and S. Takagi, “Bending experiment of pentacene field-effect transistors on plastic films”, Appl. Phys. Lett. Volume 86, Issue 7 (2005) 73511
T. Mizuno, N. Sugiyama, T. Tezuka, Y. Moriyama, S. Nakaharai and S. Takagi, “(110)-Surface Strained-SOI CMOS Devices”, IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 52, Issue. 3, March (2005) p. 367- 374
S. Takagi, T. Mizuno, T. Tezuka, N. Sugiyama, S. Nakaharai, T. Numata, J. Koga and K. Uchida, “Subband Structure Engineering for Advanced CMOS Channels”, Solid State Electron. Vol. 49, Issue 5 (2005) p. 684-694
国際会議 (International Conference)
S. Takagi
Physical Origin of Drive Current Enhancement in Ultra-thin Ge-On-Insulator (GOI) MOSFETs under Full Ballistic Transport
Ext. Abs. SSDM2004, p. 10-11
S. Takagi, “Strained-Si/SiGe CMOS Technology”, 2004 Advanced CMOS Technology Workshop, ITRI-ERSO, 4th June, 2004, ITRI, Shinchu, Taiwan
N. Sugiyama, T. Tezuka, Y. Moriyama, S. Nakaharai, T. Mizuno, K. Usuda, and S. Takagi, “Fabrication Technology of Strained SOI and Silicon Germanium on Insulator”, 7th China-Japan Symposium on Thin Films (CJSTF VII) (Chengdu, Sichuan Province) China, September 20-23, 2004),
S. Takagi, Strained-Si/SiGe-On-Insulator CMOS technology, Nano 2004, National Chao-Tung University, Hsinchu, Taiwan, 2004. 11. 3
国内学会 (Japanese Domestic Conference)
手塚 勉、中払周、杉山直治、臼田宏治、平下紀夫、田邊顕人、守山佳彦、高木信一、宮村佳児、豊田英二、酸化濃縮法によるSGOI基板作製技術-高移動度チャネルCMOSへの適用-、日本結晶成長学会 バルク成長分科会 第61回研究会、長野、2004. 5. 28.
高木信一, 水野智久, 手塚勉, 杉山直治, 沼田敏典, 臼田宏治, 中払周, 守山佳彦, 古賀淳二, 田邊顕人, 平下紀夫, 入沢寿史, 前田辰郎、ひずみSOI CMOS技術、電気学会シンポジウム「超高速SiGeデバイス材料技術の最新動向」、東京農工大学工学部, p. 64-68、2004. 06. 26.
高木信一、ひずみSOIチャネル、更にGeチャネルへ、2004年度半導体MIRAIプロジェクト成果報告会、p. 95-102, 2004. 7
K. H. Park, D. Funao, K. Hirakawa and S. Takagi, “Effective mass enhancement in n-Si MOSFETs with thin gate oxides”, 第23回「電子材料シンポジウム」、23rd Electronic Materials Symposium, ホテルサンバレー富士見, 2004年7月7-9日.
高木信一、MOSFETのチャネルエンジニアリングの現状と将来(電子情報技術産業協会、電子材料・デバイス技術委員会、極限CMOSデバイス技術専門委員会平成16年度第1回委員会(電子協314会議)、2004. 7. 16.
高木信一、サブバンド構造変調によるチャネルを用いたCMOS素子技術、電気学会電子材料研究会「低消費電力化に向けたゲート電極/ゲート絶縁膜/新構造トランジスタ」、自動車会館 , (EFM-04-42), p. 7-11、平成16年7月23日.
手塚勉、中払周、守山佳彦、杉山直治、高木信一、局所酸化濃縮により作製されたSiGe-on-Insulator pMOSFETにおける高移動度の実証, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第64回研究集会, ULSIデバイス研究委員会「最先端CMOS技術(VLSIシンポジウム特集)」、No. 64, p. 47-50、2004年7月23日.
水野 智久、杉山 直治、手塚 勉、守山 佳彦、中払 周、前田 辰郎、高木 信一、ヘテロソース構造MOSFETにおけるチャネルへの高速電子注入、電子情報通信学会集積回路研究専門委員会(ICD)・シリコン材料デバイス研究専門委員会(SDM)合同研究会(特集テーマ「VLSI回路、デバイス技術(高速、低電圧、低電力)」)、北見工大、2004. 8. 19-20.
臼田宏治, 沼田敏典, 平下紀夫, 高木信一, NBD法によるひずみSi中の欠陥の周りのひずみ緩和評価, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
手塚勉、中払周、守山佳彦、杉山直治、高木信一, 局所酸化濃縮により作製されたSiGe-on-Insulator pMOSFETにおける高移動度の実証, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
池田 圭司, 前田 辰郎, 高木 信一, Pt / Ge (100) ショットキー障壁高さの評価, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
杉山直治、平下紀夫、水野智久、守山佳彦、高木信一, (110)面上Siエピタキシーの成長律速過程の解析, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
平下紀夫, 豊田英二, 宮村佳児, 手塚 勉, 杉山直治, 臼田宏治, 入沢寿史, 沼田敏則, 田邊彰人, 守山佳彦, 中払 周, 高木信一, 酸化濃縮法によるひずみSOIウェハーの作製, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
田岡紀之, 望月省吾, 中塚理, 酒井朗, 小川正毅, 財満鎭明, 安田幸夫, 手塚勉, 杉山直治, 高木信一, 90°転位導入によるSOI 基板上歪緩和SiGe バッファ層の形成と転位構造解析, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
水野智久,杉山直治, 手塚勉,守山佳彦,中払周,前田辰郎,高木信一, ソース・ヘテロ構造を用いた超高速MOSFET, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
中林幸雄, 古賀淳二, 石原貴光, 高木信一, Si MOS反転層におけるクーロン散乱移動度の散乱源による分離と温度依存性, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
船尾大輔, 朴 敬花, 平川一彦, 高木信一, p型ひずみSi-MOSFET中のキャリア伝導, 第 65 回秋季応用物理学会学術講演会 , 東北学院大学(泉キャンパス), 2004年9月1-4日.
高木信一、ひずみの利用による高性能CMOSの実現、半導体界面制御技術第154委員会第47回研究会「歪により新機能を創る」、アジュール竹芝、p. 1-8, 2004. 10. 25.
高木信一、”ひずみSOI/SGOI技術の最近の動向と課題”、半導体MIRAIプロジェクト「ひずみSOI技術およびひずみ計測技術ワークショップ」、弘済会館(東京、四ッ谷), p. 1-12, 2004年11月12日.
高木信一、新構造ナノCMOS技術 -MOSチャネルエンジニアリングの現状と将来-、ナノテクノロジービジネス推進協議会(NBCI) 第6回エレクトロニクス分科会、みずほ情報総研安田シーケンスタワー5Fプレゼンルーム, 2005年1月14日.
沼田敏典, 入沢寿史, 手塚勉, 古賀淳二, 平下紀夫, 臼田宏治,豊田英二,宮村佳児, 田邊顕人, 杉山直治, 高木信一、[招待論文]高性能・部分空乏型および完全空乏型ひずみSOI-MOSFET、応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第67回研究集会, ULSIデバイス研究委員会「IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術)」/電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会1月研究会、No. 67, 信学技報SDM2004-210 (2005-1) p. 5-8, 2005年1月21日.
沼田敏典, 入沢寿史, 手塚勉, 古賀淳二, 平下紀夫, 臼田宏治, 豊田英二, 宮村佳児, 田邊顕人, 杉山直治, 高木信一, 高性能・微細ひずみSOI-MOSFET, 電気学会 電子デバイス研究会, (NTT水上「紫明荘」)EDD-05-42, p. 29-33 , 2005年3月10-11日.
臼田宏治, 沼田敏典, 入沢寿史, 平下紀夫, 高木信一, NBDによる微細ひずみSi-MOSFETチャネルの直接ひずみ評価, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-20, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
平下紀夫, 豊田英二, 宮村佳児, 杉山直治, 高木信一, SGOI基板上のひずみSiのひずみ緩和, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
水野智久,杉山直治, 手塚勉,守山佳彦,中払周,前田辰郎,高木信一、バックゲート電圧による歪SOI素子特性の変調効果, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-22, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
田邊 顕人,沼田 敏典,水野 智久,前田 辰郎,高木 信一, ひずみSOI MOSFETの低周波ノイズに与えるGe拡散の影響, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-21, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
沼田 敏典、入沢 寿史、手塚 勉、古賀 淳二、平下 紀夫、臼田 宏治、豊田 英二、宮村 佳児、田邊 顕人、杉山 直治、高木 信一、酸化濃縮法SGOI基板を用いた微細ひずみSOI-MOSFET, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-19, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
中林 幸雄, 古賀 淳二, 石原 貴光, 高柳 万里子, 高木 信一, Si MOS反転層におけるクーロン散乱移動度への高チャネル濃度化の影響, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-24, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
土屋 英昭, 高木 信一, 三好 旦六, “擬似バリスティック輸送下におけるMOSFETの電流駆動力 ― 電子電子散乱の影響 ―” , 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-28, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
武田 浩司, 熊谷 寛, 西川 昌志, 菅原 聡, 高木 信一, “ひずみSi p-MOSFETにおける反転層正孔移動度のユニバーサリティ”, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-26, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
高木 信一, 熊谷 寛, 西川 昌志, 武田 浩司, 菅原 聡, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, “Ge系MOSトランジスタへの期待”, 招待講演, 30p-S-2, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
朴 敬花、船尾 大輔、平川 一彦、高木 信一, “低温領域におけるSi-MOSFET中の電子移動度の強い温度依存性” , 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-25, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
舩尾 大輔, 朴 敬花,平川 一彦, 高木信一, “p型ひずみSi-MOSFET中の正孔分布と移動度 - 移動度向上機構の考察” , 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 31a-P5-18, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.
熊谷 寛, 西川 昌志, 武田 浩司, 菅原 聡, 高木 信一, “SiN/Ge MIS キャパシタのCV特性に与える基板タイプの影響”, 第 52 回春季応用物理学関係連合講演会, 1a-P6-28, 埼玉大学, 2005年3月29日-4月1日.