SingleSidePolish_R

パラメータ，加工条件が画面上で入力可能に!!

　矩形対応片面研磨シミュレーションプログラムは，片面研磨機を用いて，円形もしくは環状のポリシング工具(試料板)上に貼り付けられた工具径より小さい円形・矩形試料を研磨するさいのポリシング過程をシミュレートし，加工量や平坦度を計算するプログラムです．以前のプログラムに比較し，全てのパラメータや初期形状を，画面を見つつ入力し，次へ・コマンドボタンをクリックすることで，最終計算結果が得られるようにしました．

　試料板に中心対称に貼り付けられた試料が加工され，工具が摩耗してゆく過程は複雑です．工具，試料板回転速度，研磨圧力等を自由に変えることができます．試料が加工され，工具が摩耗してゆく過程は，座標点毎にPrestonの基礎理論式に則り，試料と工具間の相対速度，圧力，研磨時間の積に比例することを基本に，以下の仮定の下で計算されています．試料の各点が描く軌跡上の相対速度，試料面と工具面形状からすきま理論を基にして圧力を計算し，これらを積算して試料・工具半径毎に平均化して形状が計算されます．

　(1) 試料板上に貼り付けられた試料は剛体．

　(2) 試料板，試料は円形・矩形，工具は円形もしくは環状．

　(3) 圧力とポリシングパッド変形量は比例関係．

(4) 試料板は傾斜しない．

(5) 試料板，試料は，半径，角度の関数として表示．

　その特長は，以下に記述するとおりです．

　(1) 試料板，工具の回転速度は任意．

　(2) 試料板の圧力は任意．

　(3) ポリシング中の圧力分布が画面に表示され，それらをハードコピーすることも可能で，試料や工具が摩耗してゆく様子を見ることが可能．

　(4) 試料，工具の形状を半径の関数として入力できるので，前加工で生じた試料，工具の凹凸形状を平面に修正するポリシング過程もシミュレート可能．

(5) 試料板，試料形状や工具形状は，3次元図で格子線描画されるので形状把握が容易．

工具・試料配置・研磨条件入力