CarrCondPolish

パラメータ，加工条件が画面上で入力可能に!!

      両面研磨定盤修正シミュレーションプログラムは，両面研磨機を用いて，上下定盤(工具・パッド)を花びらキャリアや偏心キャリア等により形状修正するさいのキャリアや上下定盤(工具・パッド)の摩耗量や平坦度等の変化を算出し，画面に表示することができます．

　両面同時ポリシング用の研磨機構造は複雑です．このプログラムは上下定盤の回転、キャリアの自転や公転を自由に変えることができます．花びら形状等もつキャリアにより上下定盤が形状修正されてゆく過程は，座標点毎にPrestonの基礎理論式に則り，キャリアと上下定盤間の相対速度，圧力，研磨時間の積に比例することを基本に，以下の仮定の下で計算されています．キャリアの各点が描く軌跡上の相対速度，試料面と上下定盤面形状からすきま理論を基にして圧力を計算し，これらを積算して試料・定盤半径毎に平均化して形状が計算されます．

　(1) キャリアは花びら形状，環状，円板，偏心円など自由に指定．

　(2) 上下定盤は環状であり，キャリアは定盤上に均等配置．

　(3) 圧力とポリシングパッド変形量は比例関係．

　(4) 全てのキャリア厚さは等しい場合について計算する．上下定盤形状に依存してキャリア上下面の圧力分布が変化し，それに伴いキャリアが傾斜した場合，偏心荷重が発生．この傾斜は考慮に入れて計算．

　(5) キャリアは上下定盤からの圧力によって変形しない剛体．

　その特長は，以下に記述するとおりです．

　(1) 定盤の内外半径，キャリア内外半径，キャリア公転半径，キャリア内径偏心量は任意．

　(2) 定盤上に配置するキャリア個数は任意．

　(3) キャリアを自公転させる内外輪，上下定盤の回転速度，圧力は任意．

　(4) 入力した加工条件の異なる計算の一括処理が可能．

　(5) 定盤内のキャリア配置や歯車形状を即時表示．

　(6) 加工中の相対速度分布や圧力分布，歯車の回転方向が画面に表示され，それらをハードコピーすることも可能で，キャリアや上下定盤が摩耗してゆく様子を見ることが可能．

　(7) キャリア上下面，上下定盤の形状を半径の関数として入力できるので，前加工で生じた上下定盤の凹凸形状が修正されてゆく過程もシミュレート可能．

　(8) キャリア形状や定盤形状を，3次元図で格子線描画可能．

　(9) 内外輪の回転速度を入力するか，キャリアの自公転回転速度を入力するかを選択できる．

　(10) キャリア形状を白黒画像(jpeg)から読み取り可能．

　(11) キャリア内径や花びらが定盤内外周にはみ出した場合も計算可能で，はみ出し量も設定可能．

　(12) 走行距離と形状計算を一括して処理することが可能．

    熟練技能者・技術者が現場から減りつつある現在、研磨条件の選択や新たな研磨機の製作において、この研磨シミュレ－ションソフトを使えば，条件出しの実験を省くことが可能になります．このソフトが必ずや皆様のお役に立つものと考えております。

装置選択，修正キャリア選択

定盤・キャリア形状入力，キャリア接触率計算，定盤形状計算