研磨加工の理論と計算手法

執筆者　宇根篤暢　河西敏雄

発行年　2010年　日刊工業新聞社

目次

第1章　研磨加工の特徴

第2章　研磨加工装置の基本構成

第3章　研磨理論の基礎

第4章　研磨運動の解析

第5章　研磨圧力の解析

第6章　シミュレーショに必要なパラメータの特性測定

第7章　各種研磨方式のシミュレーションに対する検証