CndAdjust

パラメータ，加工条件が画面上で入力可能に!!

　揺動研磨機用修正リング適合ソフトは，修正リングを搭載した揺動研磨機において，環状の修正リングを揺動して定盤の平面度を最小にするための修正リングの内外半径や揺動範囲を計算することができます．その他，このソフトは，定盤や試料・修正リングの研磨前形状を入力して，研磨後形状を計算することができます．

　ここではPrestonの［加工量が，試料と定盤間に作用する圧力、相対速度、加工時間の積に比例する］という基本式を用います．また，河西・宇根等による「加工量のみならず定盤摩耗量も同様の関係がある」こと，さらに「加工物と定盤の形状変化に伴う圧力分布の解析と運動解析を一体にすること」で，コンピュータ処理を可能にしています．研磨シミュレーションは，以下の仮定のもとで行われます．

　(1) 試料，修正リングは剛体．

　(2) 試料，定盤は円形もしくは環状，修正リングは環状もしくは円形．

　(3) 圧力と研磨パッド変形量は比例関係．

　(4) 圧力は重錘による負荷．

　その特長は，以下に記述するとおりです．

　(1) 試料・修正リングの直線・円弧揺動に対応．

　(2) 揺動速度は等速だけでなく，台形速度，正弦速度，ユーザーが作成した揺動速度にも対応．

　(3) 試料・修正リング，定盤の回転速度，回転方向は任意．

　(4) 試料，修正リングの圧力は任意．

　(5) 研磨中の圧力分布が画面に表示され，それらをハードコピーすることも可能で，試料・修正リングや定盤が直径あるいは半径

　　上で摩耗し、形状変化していく様子を見ることが可能．

　(6) 試料，修正リング，定盤の形状を半径の関数として入力できるので，前加工で生じた試料，修正リング，定盤の凹凸形状を平

　　面に修正するポリシング過程もシミュレート可能．

　(7) 直線揺動する修正リングにより定盤を平坦化するために，修正リング内半径や揺動範囲を最適化する計算が可能．

熟練技能者・技術者が現場から減りつつある現在、研磨条件の選択や新たな研磨機の製作において、この研磨シミュレ－ションソフトを使えば，条件出しの実験を省くことが可能になります．このソフトが必ずや皆様のお役に立つものと考えております。

装置選択，揺動条件設定

定盤形状入力，最適修正リング計算，修正結果