パラメータ,加工条件が画面上で入力可能に!!
矩形両面研磨シミュレーションプログラムは,両面研磨機を用いて,上下定盤に挟まれた1枚のキャリア内に置かれた矩形試料(工作物)の両面の加工量や平面度,上下定盤(工具・パッド)の摩耗量や平坦度等の変化を算出し,画面に表示することができます.全てのパラメータや初期形状を,画面を見つつ入力し,次へ・コマンドボタンをクリックすることで,最終計算結果が得られるようにしました.
両面ポリシング用の研磨機構造は複雑です.上下定盤の回転、キャリアの自転や公転、キャリア内の試料研磨圧力等を自由に変えることができます.試料が加工され,上下定盤が摩耗してゆく過程は,座標点毎にPrestonの基礎理論式に則り,試料と上下定盤間の相対速度,圧力,研磨時間の積に比例することを基本に,以下の仮定の下で計算されています.試料の各点が描く軌跡上の相対速度,試料面と上下定盤面形状からすきま理論を基にして圧力を計算し,これらを積算して試料については試料半径・角度分割点で形状が計算され,定盤については定盤半径毎に平均化して形状が計算されます.
(1) 試料は上下定盤からの圧力によって自由に変形する薄板,あるいは剛体と考えられる厚板.
(2) 試料は矩形,上下定盤は環状,キャリアは定盤上に,試料はキャリア内に1枚を偏心して配置.
(3) 圧力とポリシングパッド変形量は比例関係.
(4) 試料の回転速度は一定.
(5) 試料は,半径,角度の関数として表示.
装置寸法・回転速度入力画面
走行距離計算画面
定盤・試料形状入力画面
圧力分布・形状計算画面