BothPolish

パラメータ，加工条件が画面上で入力可能に!!

矩形両面研磨シミュレーションプログラムは，両面研磨機を用いて，上下定盤に挟まれた1枚のキャリア内に置かれた矩形試料(工作物)の両面の加工量や平面度，上下定盤(工具・パッド)の摩耗量や平坦度等の変化を算出し，画面に表示することができます．全てのパラメータや初期形状を，画面を見つつ入力し，次へ・コマンドボタンをクリックすることで，最終計算結果が得られるようにしました．

　両面ポリシング用の研磨機構造は複雑です．上下定盤の回転、キャリアの自転や公転、キャリア内の試料研磨圧力等を自由に変えることができます．試料が加工され，上下定盤が摩耗してゆく過程は，座標点毎にPrestonの基礎理論式に則り，試料と上下定盤間の相対速度，圧力，研磨時間の積に比例することを基本に，以下の仮定の下で計算されています．試料の各点が描く軌跡上の相対速度，試料面と上下定盤面形状からすきま理論を基にして圧力を計算し，これらを積算して試料については試料半径・角度分割点で形状が計算され，定盤については定盤半径毎に平均化して形状が計算されます．

　(1) 試料は上下定盤からの圧力によって自由に変形する薄板，あるいは剛体と考えられる厚板．

　(2) 試料は矩形，上下定盤は環状，キャリアは定盤上に，試料はキャリア内に1枚を偏心して配置．

　(3) 圧力とポリシングパッド変形量は比例関係．

　(4) 試料の回転速度は一定．

　(5) 試料は，半径，角度の関数として表示．

装置寸法・回転速度入力画面

走行距離計算画面

定盤･試料形状入力画面

圧力分布・形状計算画面