精密研磨

参考図書：精密研磨

発行年　2010年　日刊工業新聞社

目次

第Ⅰ部　加工装置　編

ラッピング・ポリシング，メカノケミカルポリシング，ケミカル・メカニカルポリシング，フィルム研磨・べルト研磨

第Ⅱ部　工具・装置　編

一般砥粒，超砥粒，研磨液，スラリー，研磨パッド，パッドドレッシング，研磨砥石，研磨装置，CMP装置

第Ⅲ部　実例　編