SingleSidePolish

パラメータ，加工条件が画面上で入力可能に!!

　片面研磨シミュレーションプログラムは，片面研磨機を用いて，円形もしくは環状 のポリシング工具(試料板)上に貼り付けられた工具径より小さい円形試料を研磨するさいのポリシング過程をシミュレートし，加工量や平坦度を計算するプログラムです．以前のプログラムに比較し，全てのパラメータや初期形状を，画面を見つつ入力し，次へ・コマンドボタンをクリックすることで，最終計算結果が得られるようにしました．

　試料板に中心対称に貼り付けられた試料が加工され，工具が摩耗してゆく過程は複雑です．工具，試料板回転速度，研磨圧力等を自由に変えることができます．試料が加工され，工具が摩耗してゆく過程は，座標点毎にPrestonの基礎理論式に則り，試料と工具間の相対速度，圧力，研磨時間の積に比例することを基本に，以下の仮定の下で計算されています．試料の各点が描く軌跡上の相対速度，試料面と工具面形状からすきま理論を基にして圧力を計算し，これらを積算して試料・工具半径毎に平均化して形状が計算されます．

　(1) 試料板上に貼り付けられた試料は剛体．

　(2) 試料板，試料は円形，工具は円形もしくは環状．

　(3) 圧力とポリシングパッド変形量は比例関係．

(4) 試料板は傾斜しない．

(5) 試料板，試料は，半径，角度の関数として表示．

　その特長は，以下に記述するとおりです．

　(1) 試料板，工具の回転速度は任意．

　(2) 試料板の圧力は任意．

　(3) ポリシング中の圧力分布が画面に表示され，それらをハードコピーすることも可能で，試料や工具が摩耗してゆく様子を見ることが可能．

　(4) 試料，工具の形状を半径の関数として入力できるので，前加工で生じた試料，工具の凹凸形状を平面に修正するポリシング過程もシミュレート可能．

(5) 試料板，試料形状や工具形状は，3次元図で格子線描画されるので形状把握が容易．

工具・試料配置・研磨条件入力

工具・試料の初期形状入力

計算結果表示画面 [走行距離，加工形状]