本ホームページの紹介内容は、北海道大学 創成研究機構
同位体顕微鏡システムをご利用・またはご利用を検討頂いてる皆様へ向けた内容となります。
上記以外で所有の同一装置(仕様が同一であっても)において、本マニュアルの内容に沿って操作やエラー解決などを行った場合の結果についての保証、および起因して生じたトラブルについての責任は負いかねますこと、ご承知おきください。
初版:塩野 2023年11月10日
EM ACE600 高真空スパッタコーター でカーボンロッドコーティングを実施する際の手順
必要部品
1:2.5六角レンチ
2:掃除用ブラシ
3:カーボンロッド取付用工具
4:調整ツール
5:カーボンロッドシャープナー
6:銅クランプ
7,8:カーボンロッド保持具
9:カーボンロッド
①装置を大気開放(Vent)する。
Vent完了時にアラームはならないので真空ゲージを確認する。
②装置上部の蓋を開放する。
③赤矢印の2本のネジを緩めてソースカバー(左)を取り外す。
※右は金属スパッタ源
④内部にカーボン薄膜が残っている際はブラシで掃除する。
その際、Cuテープを破らないように気を付ける。
⑤カーボンロッドを片刃等で切断し、一方をシャープナーで鋭利に削り、先端の直径:1mm程度を平たんにする。
もう一方は、乾式研磨紙で全体を平たんに研磨する。
この際、カーボンロッドの長さが充分な場合は、一 度使用したロッドを再研磨してもよい。
⑥同クランプの赤矢印の六角ネジを緩めて、青枠画像のようにカーボンロッドを取り付ける。
青線のように、凸部と平坦部が接するようにロッドを固定して、六角ネジを締める。
⑧Cuクランプを六角ネジで固定する。
固定したら調整ツールを取り外し、2本のカーボンロッドが接触しているか確認する。
⑧ワイプとエタノールで、シール面をふき取ってカバーを取り付ける。
⑩2.Evaporation→Openを選択し、3の領域を選んで、蒸着条件を指定する。
4.CarbRod Degasを選択する.蒸着条件を確認して、5.Startを実施する。
⑪蒸着が終了すると、上記画面のように蒸着結果が表示される。
指定条件と相違がないか確認をする。
EM ACE600 高真空スパッタコーター のマニュアルに従って、試料の取り出しを実施する。