本ホームページの紹介内容は、北海道大学 創成研究機構 同位体顕微鏡システムをご利用・またはご利用を検討頂いてる皆様へ向けた内容となります。
上記以外で所有の同一装置(仕様が同一であっても)において、本マニュアルの内容に沿って操作やエラー解決などを行った場合の結果についての保証、および起因して生じたトラブルについての責任は負いかねますこと、ご承知おきください。
作成開始:2023年12月6日
(*)随時情報を追加していきます。
ここで紹介する手順は、あくまで使い方の一例です。
試料形状、大きさ、目的などの違いにより、使い方が変わる場合がありますので、ご承知おきください。
試料をスパッタする場合、試料をスパッタ用ホルダに固定する必要がある。その際、試料の形状に合わせて試料ホルダ、固定パーツを選択し、スパッタ用ホルダに取り付ける。
同位体顕微鏡で測定する際に試料を入れるホルダ。スパッタした試料は、スパッタ用ホルダから試料を取り外し、SIMS試料ホルダに入れる必要がある。その際、試料の形状に合わせて、ホルダー、カバープレート、高さ調整用パーツを選択する。
① SIMSホルダー裏面
⑤ カバープレートの上に、測定面を下にして試料を入れる。
② SIMSホルダー試料測定面
⑥ 必要に応じて高さ調整用パーツを載せる。
③ 試料カバープレート
⑦ 固定用バネを2,3個載せる。
④ SIMSホルダ裏面から試料カバープレートを入れる。
⑧ 裏蓋を被せ、回して固定する。