Auflösungsvermögen

Das Auflösungsvermögen wird durch die Numerische Apertur(NA) quantifiziert.

Für sie gilt: NA= η • sin(α)

η (griechisch "Eta") steht für den Brechungsindex eines Materials zwischen Fokus und Objektiv,

α für den halben Öffnungswinkel.

Über die Numerische Apertur kann man den mimimalen Abstand zwischen zwei Punkten berechen, mit dem sie gerade noch voneinander unterschieden werden können. Dieser Abstand wird angegeben als y_min ≈ λ/NA

Daraus ergibt sich, dass je größer die Numerische Apertur ist, umso feinere Struckturen auflösbar sind. Das gilt auch für kleinere Wellenlängen λ.

Diese Regeln lassen sich einfach mit der Gleichung (y_min ≈ λ/NA) erklären :

Größeres λ bei gleicher oder kleinerer NA --> y_min wird größer und umgekehrt.