ラマン分光測定
工事中
試料に光を照射した際微弱に放出されるラマン散乱光から試料の構造やドーピング濃度等の情報を調べる手法
必須:レーザー、分光器、照射レーザー光に対応する減衰フィルタ
顕微集光光学系があるとよさそう
レーザーラマン分光法による半導体の評価 河東田 隆, 1988