原子間力顕微鏡
微小な原子間力を感知して試料の表面を観察する手法
コンタクトモード(DCモード)
試料表面をなぞって表面性状を測る
ACモード
サイクリックコンタクトモード
ノンコンタクトモード
購入するならDIY AFMが比較的安価か
Advanced KitだとACモードでの測定ができる
(Advanced Kitは150万という情報があるが、2024年に購入するなら200万程度になってそう)
自作するなら↓
ステージ:XY微動はカメラの手振れ補正ユニット
(参考: naan氏の手振れ補正ユニット解説記事、kuriuzu氏の手振れ補正ユニット解説記事 )
測定部:共振周波数1.5MHz以上のピエゾでカンチレバー(~500kHz)を共振させる(Z移動はステージ側で行う?)
カンチレバーはebayで入手済
(参考:thorlab ピエゾ振動アクチュエータ)
探針の変位・振幅検出:DVDピックアップorレーザー+4分割フォトダイオード?
Aliexpressで安く売られているピエゾアクチュエータのデータ
(データシートと検査成績書で情報が一部食い違っているようにみえる)
共振周波数は約260kHzだが、発熱を考慮しその1/3未満で駆動すると87kHz未満での駆動 100kHzで透過直列抵抗が0.5Ωなのでもう少し低くして5~60kHz程度?
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