Lithography

リソグラフィ

素子構造の作製にあたり、リソグラフィによってパターンを形成する必要がある

リソグラフィのための情報まとめ

露光(可視～紫外)

プロジェクターを用いた露光

フィルターを外すと紫外光が出るランプ系のプロジェクターがよさそう

照射光学系、縮小露光、重ね合わせの問題をそれぞれ解決する必要あり

金属顕微鏡を使う

フォトレジスト:FPPR #200が共立エレショップで販売されており、入手が容易か

スピンコーターの回転数を変えて膜厚の調整が可能

現像はメタケイ酸ナトリウムなどを溶かした塩基性溶液で、溶解はアセトン等の有機溶剤でできそう

廃液は中和したうえで固めるか吸い取って不燃物が良さそう

※下水等に流さないように

アリエク等で販売されている青い色のフィルム

厚膜になるため、解像度がやや低下しそうではあるがコーターは不要

基板へ貼りつける際は気泡を入れないように気を付けること

保管はかなり楽でよさそう

自宅で露光･現像プロセスを行う事を考えると、可視光～近紫外域に感度を持つフォトレジストを用いるのはなかなか大変(照明や暗室の準備･維持等)

→遠紫外線レジストまたは電子ビーム露光用レジストはどうか？人間が通常浴びる光より短波長に感度を持つため、普通の照明でOK、暗室やイエロールームも不要

レジストはPMMAが使えそう　低感度という問題点は露光時間を伸ばして解決か

↓のプロジェクトも良いかも

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