拡散
加熱によってドーパントを拡散させる
ガスソースは取り扱いが極めて困難なので、ドーパントを含む材料をウエハに塗布するor上流にドーパントを置いてガスフローで送る？
・ウエハに塗布する場合使えそうな材料
N型:リン酸水素アンモニウム、リン酸?
P型:ホウ酸
・ドーパントをガスフローで送る場合
アルミナ・石英等のボートにドーパント(固体ソース)を置くことになる
Al,Ga,In:不活性ガスで置換しないと酸化してよくなさそう
P(P2O5?)