分光測定いろいろ
試料に光や電子線を照射した際に発せられる光や吸収から試料を測定する技術
利点:非破壊･非接触で測定可能
欠点:ピークの帰属･同定が困難、表面荒れ等の機械的性状変化に敏感
Photoluminescence :フォトルミネッセンス
試料に光を照射し、励起状態から基底状態に遷移する際の発光を測定することで試料のバンドギャップや不純物準位を確認する手法
Elipsometry:エリプソメトリー
Raman:ラマン分光法
試料に光を照射した際微弱に放出されるラマン散乱光から試料の構造やドーピング濃度等の情報を調べる手法
IR:赤外分光法
分子振動に対応した吸収から試料の構造やドーピング濃度等の情報を調べる手法