自宅でできること、できないこと
粉塵･ゴミ･温度/湿度変化の少ない雰囲気の形成→簡易クリーンブース、空調管理(維持にコストがかかる)
プロセス中での意図しない不純物取り込みの低減
毒劇物の取り扱いと廃液処理
騒音･振動が大きい機器の使用
電子線･電離放射線を用いるプロセスと評価
・製造
半導体ウエハ･フォトレジスト等(各種法令に抵触しない)素材の入手
酸化物半導体の成膜:既に酸化しているため大気中での劣化が少なく、他の半導体と比べて比較的取り扱いが容易
低～高真空プロセスの実施(抵抗蒸着、スパッタリング等)
紫外~可視光による露光とパターン形成
高真空の形成
高周波の取り扱い(<50W)←50W以上だと高周波利用設備の申請が必要
電子機器の使用(~1500W程度)
・評価
光学顕微鏡による表面/断面観察
光学系の組み立て、紫外~近赤外での分光測定
低電圧･小電流･低周波領域での電気特性評価