装置
所有している装置について
ミストCVD
薄膜の成膜に使用
スピンコーター
フォトレジスト塗布に使用予定
電気炉(横型管状炉)
Siウエハの酸化膜形成、不純物拡散に使用
マルチチャンネル分光器 (200-800nm)&紫外光源(D2ランプ)・可視-近赤外光源(ハロゲンランプ)、光ファイバー等(近日写真撮影予定)
分光測定に使用
純水製造装置(修理中)
試料洗浄に使用予定
スパッタコーター(近日写真撮影予定)
本来?SEM等での試料観察に用いるものだが、簡易な電極作製にも使えるはず