Sputtering

自作するならこの辺が参考になりそう: Hacker Fab-DIY RF Sputtering Chamber

絶縁体･半導体ターゲットを利用可能なRFマグネトロンスパッタリングを作っていく

高周波電源と電波法について

利用周波数が10kHzを超え、各種設備-半導体製造装置-薄膜形成装置に該当し、成膜に高周波エネルギーを用いるため、高周波出力が50W以下でない場合は設備の設置許可が必要になる

高周波出力はおそらく電源の定格で決まると思われる(未確認)ので、中古で出回っている電源を用いる場合はほとんどの場合申請する必要がある

詳細は総務省の該当ページで確認すること