Reference

多いので書き方をどこかで改める必要あり

プロセス全般

・集積回路プロセス技術シリーズ(産業図書):以下の8冊。自宅半導体製造に興味があるなら是非読むべき　絶版だが、"評価""エピタキシー"あたりは流通在庫が比較的多い印象

体感だが、プロセス～とSOI構造～はなかなか見かけない

半導体評価技術

半導体エピタキシー技術

半導体ドライエッチング技術

半導体プラズマプロセス技術

半導体リソグラフィ技術

プロセス・デバイス・シミュレーション技術

SOI構造形成技術

半導体イオン注入技術

・物理工学実験シリーズ(東京大学出版会):物理実験者のための13章を読んでその他の本に手を出すのが良いか？

真空技術

結晶育成基礎技術

低温技術

上記3冊は第2版以降が出ていたため流通量はありそう

個人的にはX線回折・散乱技術(未読)、光物性測定技術(未読)、高温・熱技術(未読)が気になる

・真空ハンドブック:アルバック編集の真空技術をピンからキリまでまとめた本　非真空プロセスであっても読むべき、高価だが一冊持っておくと便利　現在3訂版まで出版されているため、安く入手したい場合は古い版を狙うのも手

・アドバンストエレクトロニクスシリーズ(培風館):各分野の専門書という趣が強い。自分が気になる分野の書籍を読むのがよさそう　あと流通価格がやや高めなのが嘆かわしい

関連しそうなものを下記に記載

シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

バルク結晶成長技術

太陽エネルギー工学 : 太陽電池

アモルファス半導体

酸化物エレクトロニクス

III族窒化物半導体

自己組織化プロセス技術

固体表面と界面の物性

結晶成長の基礎

ULSIプロセス技術

ウルトラクリーンULSI技術

分子線エピタキシー

III-V族化合物半導体

結晶成長関連

・結晶成長のダイナミクスシリーズ(共立出版):以下3冊が個人的なおすすめ。他は専門や興味に応じて

結晶成長のしくみを探る(2巻)

エピタキシャル成長のメカニズム(3巻)

エピタキシャル成長のフロンティア(4巻)

・フラックス結晶育成法入門:フラックス法によるバルク成長

・薄膜工学　第4版(丸善):薄膜に携わるなら読んだ方が良い　古い版も流通しているため入手性が高い

シリコン

・シリコン集積素子技術の基礎:シリコンプロセスに関する古い本　シリコンの酸化、ドーピング等を試みるなら一読すべき　絶版なのが悲しい･･･

Fundamentals of silicon integrated device technology Volume Iの日本語訳なので、海外の方には原著を勧められる

・シリコンの物性と評価法:専門が化合物半導体の人でも一読をおすすめする

・シリコン結晶とドーピング(たしか未読)

・シリコン系ヘテロデバイス

・半導体シリコン結晶工学

化合物半導体

・化合物半導体デバイス　I/II

・化合物半導体の基礎物性入門

ワイドギャップ半導体

・ワイドギャップ半導体光・電子デバイス

・ワイドギャップ半導体パワーデバイス

アモルファス

・アモルファス半導体の基礎

・アモルファスシリコン

クリーンルーム

・クリーンルームハンドブック(オーム社):自宅をクリーンルームにしたい、という強い想いがある場合におすすめ

PVD系いろいろ

蒸着

・真空蒸着(アグネ)

・光学薄膜と成膜技術(アグネ)

スパッタリング

・スパッタ技術():

・薄膜化技術():

・現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ

分子線エピタキシー(MBE)

・分子線エピタキシー技術:タイトルそのままだが、有機金属気相成長法に関する技術等も載っている

・エピタキシャル成長実用技術データ集　第1集　第2分冊　MBE

CVD全般

・CVDハンドブック

プラズマCVD

・プラズマ半導体プロセス工学

有機金属気相成長法(MOCVD)

・エピタキシャル成長実用技術データ集　第1集　第1分冊　MOCVD

プロセス

エッチング

・金属エッチング技術

その他自作系

・手作り太陽電池のすべて　色素増感太陽電池を作ろう(パワー社):酸化チタン+色素で作る太陽電池　電極はITO付きガラス　結構作りやすそう

光電子集積回路の基礎技術:エピタキシャル成長に関する手法もしっかり掲載されている

測定･評価技術

・半導体材料･デバイスの評価:手を出しにくい値段だが、初見の評価手法をとりあえず調べるのはアリ

・分析化学実技シリーズ

電子顕微鏡

X線回折

・X線結晶解析

・X線回折要論

・X線構造解析

・粉末X線解析の実際

・蛍光X線分析の実際

走査プローブ顕微鏡

・走査型プローブ顕微鏡

分光測定

・日本分光学会　測定法シリーズ

・スペクトル測定と分光光度計

・分光エリプソメトリー

装置自作系

・研究室のDo It Yourself 手作り実験のすすめ

・アマチュア科学者　輪ゴムのエンジンから原子破砕器まで

松浦氏のDIY半導体ページ　酢酸亜鉛･アセチルアセトン亜鉛を用いたゾルゲル法による酸化亜鉛薄膜の成膜が中心

Sam Zeloof氏のyoutube、個人サイト　Siプロセス、SEM、各種リソグラフィ技術等

naan(ナーン)氏のnote　DVDピックアップとカメラの手ぶれ補正ユニットを用いたレーザーSEMの自作