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熱酸化
ドライ酸化とウェット酸化の2種類に大きく分けらる。
ドライ酸化:酸素による酸化。酸化速度は遅いが、緻密な膜が形成されやすい
ウェット酸化:水蒸気による酸化。酸化速度はドライ酸化より早いが、酸化膜の密度が低くなる傾向にある？
ドライ酸化
電気炉(管状炉)にウエハを入れ、加熱する
ニッカトーのアルミナボート上にSiウエハの小片を置いている
室温→1000℃→電源OFFして自然冷却 の流れで実施
空気中の水蒸気も寄与するので、夏と冬で微妙に酸化速度が変わるはず(未検証)
1000℃1時間、炉の中央(熱電対直上)
色味から判断すると150nm前後?
1000℃1時間、炉の端近く
温度分布のためか、膜厚が薄い(<100nm?)
炉の中央、熱電対付近
中央数cmは温度がほぼ均一とみられる
炉の端に置いたもの(画像左側が炉の外側に、右側が内側に向いている)
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