所謂先程序後實體，係指訴訟繫屬時應先審查程序事項是否符合法律規定，若程序事項未符合法律規定，則不進入實體審理，而得命當事人補正程序上之缺失或於無法補正時直接駁回其訴。但不能據此反推若訴訟程序進入實體審查，法院即不得再審查起訴是否合於程式或要件是否具備。(臺灣高等法院99年抗字第864號民事裁定)

憲法第八條第一項規定：「人民身體之自由應予保障。除現行犯之逮捕由法律另定外，非經司法或警察機關依法定程序，不得逮捕拘禁。非由法院依法定程序，不得審問處罰。非依法定程序之逮捕、拘禁、審問、處罰，得拒絕之。」其所稱「依法定程序」，係指凡限制人民身體自由之處置，不問其是否屬於刑事被告之身分，國家機關所依據之程序，須以法律規定，其內容更須實質正當，並符合憲法第二十三條所定相關之條件。

上訴人等主張訴願管轄機關應為考試院，斷非行政院，則依先程序後實體原則，自應先審就訴願決定之管轄機關有無錯誤，原判決未察，竟謂：「既非行政處分，自無再行探究是否屬於依訴願法第7條自應視為委託機關之處分（為被上訴人之行政處分）之必要」云云，而無視上訴人等主張訴願管轄機關錯誤之程序問題，有違「先程序後實體」之審理原則，原判決顯有不適用法規或適用不當之違背法令。(最高行政法院100年判字第1932號行政判決)