真空蒸着装置

電子顕微鏡の試料作製に使用します。真空中で金属や炭素を加熱・蒸発させ、試料に金属／炭素コーティングを行います。

使用例

• 生体試料に白金／炭素蒸着を行い、透過型電子顕微鏡用のレプリカ作製
• カバーガラスに金蒸着を施し、相関顕微鏡法のパターン付き基盤を作製