所内の液体窒素は、流体テクノ室に設置されているCE(コールドエバポレーター)とF棟地下自動供給装置をつなぎ供給できるシステムになっています。供給圧力は0.25 MPa前後です。
参考(2024/12/6分析)
窒素純度 ≧ 99.9995%、O2 ≦ 0.1 ppm、露点 ≦ 76℃ (メーカー出荷時)